[发明专利]一种晶圆的手臂夹持机构

说明书

本发明公开了一种晶圆的手臂夹持机构，涉及到半导体技术领域，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，底盘的一侧对称地设有两夹持臂，两夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，底盘的一侧还设有第一滑动块，每一夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，第一滑动块设于第一滑槽内，底盘的一侧还设有安装座，且安装座位于两夹持臂的上端，安装座内设有两驱动机构，每一驱动机构可分别驱动一夹持臂沿第一滑动块的长度方向移动，每一夹持臂的内部分别设有一晶圆缓冲模块。本发明中，可以在夹持晶圆的过程中实现对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，可以防止夹持臂作用在晶圆上的作用力过大而导致晶圆出现碎裂现象。

技术领域

本发明涉及到半导体技术领域，尤其涉及到一种晶圆的手臂夹持机构。

背景技术

在传统的晶圆缺陷检测机台中，往往通过机械臂来传送晶圆(wafer)，并通过翻转晶圆的方式来检测晶圆是否出现异常。为此，机械臂需要具备较高的可靠性。

目前的机械臂大多通过真空来吸附固定晶圆，并通过控制翻转角度来实现晶圆的翻转。但是真空吸附的可靠性难以很好的保证，如果发生真空丢失或碰撞，则容易导致晶圆脱落，造成晶圆碎片、刮伤等问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆的手臂夹持机构，用于解决上述技术问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种晶圆的手臂夹持机构，包括底盘、安装座、驱动机构、夹持臂、晶圆缓冲模块和第一滑动块，其中，所述底盘的一侧对称地设有两所述夹持臂，两所述夹持臂之间形成一晶圆夹持槽，所述底盘的一侧还设有所述第一滑动块，每一所述夹持臂的一端分别开设有一第一滑槽，所述第一滑动块设于所述第一滑槽内，所述底盘的一侧还设有所述安装座，且所述安装座位于两所述夹持臂的上端，所述安装座内设有两所述驱动机构，每一所述驱动机构可分别驱动一所述夹持臂沿所述第一滑动块的长度方向移动，每一所述夹持臂的内部分别设有一所述晶圆缓冲模块。

作为优选，还包括第二滑动块，每一所述夹持臂的一端的上侧分别设有一所述第二滑动块，所述安装座的下端设有第二滑槽，每一所述第二滑动块分别设于所述第二滑槽内。

作为优选，每一所述夹持臂上分别开设有一安装槽，且所述安装槽由所述夹持臂的宽度方向的一侧开设至所述夹持臂的宽度方向的另一侧，所述晶圆缓冲模块设置在所述安装槽内。

作为优选，还包括销钉，每一所述夹持臂的另一端分别设有一所述销钉，每一所述晶圆缓冲模块分别通过销钉固定在所述安装槽内，且每一所述晶圆缓冲模块均可绕一所述销钉旋转。

作为进一步的优选，每一所述晶圆缓冲模块均包括：

硬性板，所述硬性板设于所述安装槽内，且所述硬性板的一端通过所述销钉与所述夹持臂连接，所述硬性板的内部为中空结构，所述硬性板上靠近所述晶圆夹持槽的一侧开设有槽口；

橡胶，所述橡胶设于所述硬性板的内部，且所述橡胶的一侧突出于所述槽口；

复位弹簧，所述硬性板的另一端通过一所述复位弹簧与所述安装槽的内壁连接。

作为进一步的优选，还包括固定块和固定环，其中，所述硬性板的另一端的一侧设有所述固定块，所述固定块上以及所述安装槽内壁上与所述固定队相正对的位置分别设有一所述固定环，所述复位弹簧的两端连接两所述固定环。

作为进一步的优选，所述橡胶的一侧开设有夹槽。

作为进一步的优选，还包括限位块，所述硬性板的另一端的另一侧设有一所述限位块。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：