[发明专利]一种晶圆压膜机

权利要求书

1.一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机(1)、箱门(2)、传输皮带(3)、支撑架(4)、控制面板(5)，所述压膜主机(1)前端表面与箱门(2)相铰接，所述传输皮带(3)安装在支撑架(4)内侧端，并且支撑架(4)贯穿于压膜主机(1)下端内部，所述传输皮带(3)位于压膜主机(1)内部，所述控制面板(5)设在支撑架(4)右端前表面，并且控制面板(5)与压膜主机(1)电连接，其特征在于：

所述压膜主机(1)包括机箱(11)、放卷辊(12)、压膜辊(13)、收卷辊(14)、清理装置(15)、下沉装置(16)，所述支撑架(4)贯穿于机箱(11)下端内部，并且放卷辊(12)设在机箱(11)左侧内部，所述收卷辊(14)安装在机箱(11)中部，并且收卷辊(14)位于下沉装置(16)正上方，所述收卷辊(14)设在机箱(11)右侧内部，所述清理装置(15)固定安装在机箱(11)左侧内部，并且清理装置(15)位于放卷辊(12)正下方，所述清理装置(15)下端位于传输皮带(3)上方，所述下沉装置(16)安装在传输皮带(3)中部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述清理装置(15)包括调节喷气机构(151)、刮除机构(152)，所述调节喷气机构(151)外侧端固定安装在机箱(11)左侧内部，所述调节喷气机构(151)内部下端与刮除机构(152)外侧端相固定，并且刮除机构(152)下端位于传输皮带(3)上方。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述调节喷气机构(151)包括导向框(51a)、滑动块(51b)、伸缩软管(51c)、导气管(51d)、喷嘴(51e)，所述滑动块(51b)滑动安装在导向框(51a)下端内部，并且滑动块(51b)与刮除机构(152)外侧端相固定，所述滑动块(51b)与伸缩软管(51c)下端相固定，所述伸缩软管(51c)安装在导向框(51a)内部，并且伸缩软管(51c)与导气管(51d)内部相贯通，所述导气管(51d)与导向框(51a)上端相固定，所述导气管(51d)下端设有喷嘴(51e)并且相贯通。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述刮除机构(152)包括升降柱(52a)、扭力轴(52b)、刮板(52c)、刮片(52d)，所述升降柱(52a)外侧端与滑动块(51b)相焊接，所述刮板(52c)上端通过扭力轴(52b)与升降柱(52a)内部相铰接，所述刮板(52c)底部设有刮片(52d)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述下沉装置(16)包括固定底座(161)、导向片(162)、承托机构(163)，所述固定底座(161)固定安装在传输皮带(3)中部，所述导向片(162)设在固定底座(161)上端外侧，所述承托机构(163)采用间隙配合安装在固定底座(161)上端内部，并且固定底座(161)位于导向片(162)内侧。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述承托机构(163)包括托盘(63a)、滑杆(63b)、滑块(63c)、连动杆(63d)、导向弹簧杆(63e)，所述托盘(63a)采用间隙配合安装在固定底座(161)上端内部，并且托盘(63a)底部设有滑杆(63b)，所述滑块(63c)滑动安装在滑杆(63b)外部，并且滑块(63c)顶部与托盘(63a)底面相固定，所述滑块(63c)与连动杆(63d)上端相铰接，所述导向弹簧杆(63e)固定安装在固定底座(161)内部，并且导向弹簧杆(63e)采用间隙配合贯穿于连动杆(63d)内部。