[发明专利]一种晶圆压膜机

说明书

本发明公开了一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机、箱门、传输皮带、支撑架、控制面板，压膜主机前端表面与箱门相铰接，刮板底部与晶圆的上表面进行抵触，通过扭力轴的转动调节，使得刮板进行微转动，避免对晶圆表面造成刮伤，通过滑动块在导向框内部进行滑动，伸缩软管进行伸缩，将伸缩软管内部的气压挤入导气管内部，最后从喷嘴内部进行分散喷出，将晶圆表面剔除后的尖锐的凸块进行吹除，防止膜发生破损，晶圆顺着导向片停留在托盘表面，压膜辊再将膜压在晶圆表面的过程中，两端的连动杆绕着导向弹簧杆进行弧形转动，确保托盘表面放置的晶圆进行平稳的下降，从而避免托盘上表面放置的晶圆与压膜辊之间的挤压力过大，避免晶圆发生破损。

技术领域

本发明涉及晶圆涂膜领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆压膜机。

背景技术

晶圆片上的电路层制作完成后，需要对晶圆片的背面进行减薄，使其达到所需的厚度，超薄厚度的晶圆片容易弯曲，因此需要使用到压膜机对晶圆片进行贴膜，通过膜棒的旋转，从而将膜贴附在晶圆片的表面，但是由于晶圆片在进行减薄的过程中，会产生部分的废屑，废屑容易残留在晶圆片的表面，在晶圆片的表面形成尖锐的凸块，直接传输进入到压膜台上进行压膜，尖锐的凸块与膜棒上的膜发生接触，容易将膜刺破，导致膜发生破损，同时膜棒与晶圆片上尖锐的凸块之间形成的挤压力度增大，这时晶圆片自身容易发生破裂。

发明内容

本发明实现技术目的所采用的技术方案是：该一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机、箱门、传输皮带、支撑架、控制面板，所述压膜主机前端表面与箱门相铰接，所述传输皮带安装在支撑架内侧端，并且支撑架贯穿于压膜主机下端内部，所述传输皮带位于压膜主机内部，所述控制面板设在支撑架右端前表面，并且控制面板与压膜主机电连接，所述压膜主机包括机箱、放卷辊、压膜辊、收卷辊、清理装置、下沉装置，所述支撑架贯穿于机箱下端内部，并且放卷辊设在机箱左侧内部，所述收卷辊安装在机箱中部，并且收卷辊位于下沉装置正上方，所述收卷辊设在机箱右侧内部，所述清理装置固定安装在机箱左侧内部，并且清理装置位于放卷辊正下方，所述清理装置下端位于传输皮带上方，所述下沉装置安装在传输皮带中部。

作为本发明的进一步改进，所述清理装置包括调节喷气机构、刮除机构，所述调节喷气机构外侧端固定安装在机箱左侧内部，所述调节喷气机构内部下端与刮除机构外侧端相固定，并且刮除机构下端位于传输皮带上方，所述刮除机构呈左端低右端高的倾斜角度安装在调节喷气机构的下端。

作为本发明的进一步改进，所述调节喷气机构包括导向框、滑动块、伸缩软管、导气管、喷嘴，所述滑动块滑动安装在导向框下端内部，并且滑动块与刮除机构外侧端相固定，所述滑动块与伸缩软管下端相固定，所述伸缩软管安装在导向框内部，并且伸缩软管与导气管内部相贯通，所述导气管与导向框上端相固定，所述导气管下端设有喷嘴并且相贯通，所述导向框、滑动块和伸缩软管均设有两个，分别与导气管的两端进行连接，并且伸缩软管呈褶皱型结构，采用橡胶材质，具有一定的回弹性，所述喷嘴共设有十个，并且等距分布在导气管的下端。

作为本发明的进一步改进，所述刮除机构包括升降柱、扭力轴、刮板、刮片，所述升降柱外侧端与滑动块相焊接，所述刮板上端通过扭力轴与升降柱内部相铰接，所述刮板底部设有刮片，所述刮板下端呈倒圆角结构，并且底部的刮片呈三棱柱结构。

作为本发明的进一步改进，所述下沉装置包括固定底座、导向片、承托机构，所述固定底座固定安装在传输皮带中部，所述导向片设在固定底座上端外侧，所述承托机构采用间隙配合安装在固定底座上端内部，并且固定底座位于导向片内侧，所述导向片共设有两个，呈三棱柱结构，并且两个导向片左右对称，安装在固定底座上表面左右两端。

作为本发明的进一步改进，所述承托机构包括托盘、滑杆、滑块、连动杆、导向弹簧杆，所述托盘采用间隙配合安装在固定底座上端内部，并且托盘底部设有滑杆，所述滑块滑动安装在滑杆外部，并且滑块顶部与托盘底面相固定，所述滑块与连动杆上端相铰接，所述导向弹簧杆固定安装在固定底座内部，并且导向弹簧杆采用间隙配合贯穿于连动杆内部，所述滑杆、滑块和连动杆均设有两个，并且呈左右对称结构，两个连动杆呈V字型结构。