[发明专利]干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法

权利要求书

1.一种干燥装置，用于使基板保持架干燥，其中，该干燥装置具备：

干燥槽，其用于收容所述基板保持架，具有壁和用于排出内部的液体的排出口；

液体供给口，其用于向所述壁的内表面供给液体；

多个喷嘴，其位于所述干燥槽的所述内部，用于向收容于所述干燥槽的所述基板保持架喷射气体；

液体供给单元，其用于从所述液体供给口向所述干燥槽的所述内部供给液体；

气体供给单元，其用于向所述多个喷嘴供给所述气体；以及

控制装置，

所述控制装置控制所述液体供给单元和所述气体供给单元，使得在所述液体供给口向所述壁的所述内表面供给液体的期间，所述多个喷嘴向所述基板保持架或者所述基板喷射气体。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

所述液体供给口形成于所述壁，具有在水平方向上延伸的下端部，

所述液体供给单元具备安装在所述干燥槽的外侧的罩部件，用以覆盖所述液体供给口，

形成有由所述干燥槽和所述罩部件围起的空间，流入到该空间的液体构成积液，构成该积液的液体通过所述液体供给口而向所述干燥槽的所述内部供给。

3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

所述干燥槽具有上表面，该上表面具备用于使所述基板保持架进入所述内部的开口。

4.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

该干燥装置还具备两张喷嘴保持板，该两张喷嘴保持板位于所述干燥槽的所述内部，隔开用于配置所述基板保持架的间隙地相互平行地配置，

所述壁具有在从上侧观察时形成矩形形状的四个壁面，

所述两张喷嘴保持板与所述四个壁面中的相互平行的两个壁面平行地配置，

所述多个喷嘴的一部分安装于所述两张喷嘴保持板中的一张喷嘴保持板，

所述多个喷嘴的剩余部分安装于所述两张喷嘴保持板中的另一张喷嘴保持板，

在所述四个壁面中的与所述喷嘴保持板垂直地延伸的两个壁面分别形成有所述液体供给口。

5.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

所述液体供给口位于比所述多个喷嘴高的位置。

6.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

该干燥装置还具备：

第一排气管道，其具有位于比所述液体供给口靠下侧处的用于将所述干燥槽的所述内部的气体排气的第一排气口；以及

倾斜板，其端部固定在所述壁的比所述第一排气口靠上侧处，以随着趋向所述干燥槽的下侧而远离所述壁的方式倾斜。

7.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，

该干燥装置还具备第二排气管道，该第二排气管道具有用于吸引所述干燥槽的所述内部的气体的第二排气口，以使所述干燥槽的所述内部成为负压。

8.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

所述干燥槽的所述内部的气体受所述第二排气口吸引而使所述干燥槽的所述内部成为-80kPa以下。

9.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

所述第二排气管道贯通所述干燥槽的底面而与所述干燥槽的所述内部进行流体连通。

10.根据权利要求9所述的干燥装置，其中，

所述第二排气口位于比所述排出口高的位置，

该干燥装置在所述第二排气口的上侧具备顶板。

11.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

该干燥装置还具备排气调整阀，该排气调整阀用于调整受所述第二排气口吸引的气体的流量。

12.根据权利要求7所述的干燥装置，其中，

所述排出口形成在所述干燥槽的底面，并且位于能够将在气体受所述第二排气口吸引时被吸至所述第二排气口的液体排出那样的接近所述第二排气口的位置。