[发明专利]干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法

说明书

本发明提供干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法。干燥装置能够除去在基板保持架的干燥时在干燥槽的内部浮游的颗粒物。本发明的干燥装置(300)具备：干燥槽(320)，其具有壁(322)、用于向壁的内表面供给液体的液体供给口(334)及用于排出内部的液体的排出口(336)；多个喷嘴(340)，其用于向基板保持架(200)喷射气体；液体供给单元(312)，其用于从液体供给口向干燥槽的内部供给液体；气体供给单元(310)，其用于向多个喷嘴供给气体；控制装置(380)，控制装置控制液体供给单元和气体供给单元，使得在液体供给口向壁的内表面供给液体的期间，多个喷嘴向基板保持架或者基板(W)喷射气体。

技术领域

本发明涉及干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法。

背景技术

为了在基板的表面形成金属薄膜，使用镀敷装置。存在镀敷装置具备基板干燥装置的情况。在这样的镀敷装置中，在对基板保持架所保持的基板的表面进行了镀敷处理之后，清洗基板。然后，通过基板干燥装置对基板进行干燥。

在专利文献1中记载了基板干燥装置的一例。在专利文献1中，如该图7所示，公开了具有干燥槽和位于干燥槽的内部的多个喷出喷嘴的基板干燥装置。而且，在该基板干燥装置中，多个喷出喷嘴构成为位于与基板对置的位置，朝向基板的表面喷出N₂气体或空气等干燥气体。

根据专利文献1所记载的基板干燥装置，从干燥槽的内部的喷出喷嘴朝向基板保持架所保持的基板的表面依次喷出N₂气体或空气等干燥气体。由此，该基板干燥装置能够除去附着于基板的表面的水滴并使其干燥。

专利文献1：日本特开2013-201172号公报

如上所述，在专利文献1所记载的基板干燥装置中，通过由喷出喷嘴朝向基板喷出干燥气体，而使基板干燥。而且，通过使向基板喷出的干燥气体也吹到保持基板的基板保持架，从而该基板干燥装置也使基板保持架干燥。此时，在颗粒物附着于基板或基板保持架的情况下，由于所喷出的干燥气体，故颗粒物飞散。于是，有飞散的颗粒物附着于干燥槽的内表面而污染干燥槽的内部之虞。另外，在被污染的干燥槽的内部使用喷出喷嘴的情况下，有附着于干燥槽的内表面的颗粒物再次飞散而附着于其他的基板或基板保持架之虞。

发明内容

因此，本发明鉴于上述的课题，目的在于，提供干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法，在基板保持架的干燥时能够除去在干燥槽的内部浮游的颗粒物，能够抑制附着于干燥槽的内表面的颗粒物再次飞散而附着于其他的基板或基板保持架。

一个实施方式的干燥装置是用于使基板保持架干燥的干燥装置，具备：干燥槽，其用于收容上述基板保持架，具有壁和用于排出内部的液体的排出口；液体供给口，其用于向上述壁的内表面供给液体；多个喷嘴，其位于上述干燥槽的上述内部，用于向收容于上述干燥槽的上述基板保持架喷射气体；液体供给单元，其用于从上述液体供给口向上述干燥槽的上述内部供给液体；气体供给单元，其用于向上述多个喷嘴供给上述气体；以及控制装置，上述控制装置控制上述液体供给单元和上述气体供给单元，使得在上述液体供给口向上述壁的上述内表面供给液体的期间，上述多个喷嘴向上述基板保持架或者上述基板喷射气体。

根据本实施方式的干燥装置，控制装置控制液体供给单元和气体供给单元，使得在液体供给口向壁的内表面供给液体的期间，多个喷嘴向基板保持架喷射气体。即，在多个喷嘴向基板保持架喷射气体时，处于液体必须从液体供给口向干燥槽的内部的壁的内表面供给的状态。液体通过与干燥槽的内部的气体接触，能够捕捉在气体内浮游的颗粒物，能够抑制干燥槽的内部被污染。即，本实施方式的干燥装置能够在基板保持架的干燥时除去在干燥槽的内部浮游的颗粒物，能够抑制附着于干燥槽的内表面的颗粒物再次飞散而附着于其他的基板或基板保持架。