[发明专利]半导体集成电路MGP塑封主流道残留旋转折离设备有效
申请号: | 202110150565.8 | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN113013042B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 徐勇;谢亚辉;何勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市华龙精密模具有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区航城*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 集成电路 mgp 塑封 主流 残留 旋转 设备 | ||
1.一种半导体集成电路MGP塑封主流道残留旋转折离设备,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上设置有可升降的上料机构(3),用于将待掰折的芯片组运送至折离机构(2),所述待掰折的芯片组为封装完成两组芯片组(a)通过主流道料饼(b)连接在一起,每组芯片组(a)均包括多个塑封完成的芯片(a1)以及连接多个芯片(a1)的载体支架(a2),主流道料饼(b)会同时固定在两个芯片组(a)的载体支架(a2)上;所述机架(1)上设置的两组折离机构(2)位于所述上料机构(3)下方两侧,折离机构(2)用于将主流道料饼(b)上的芯片组(a)掰折下来;该设备还包括推料机构(4),用于将折离机构(2)上掰折好分离的芯片组(a)推送至送料机构(5),送料机构(5)接收到分离的芯片组(a)后将芯片组(a)运送离开推料机构(4);
所述折离机构(2)包括转动设置于所述机架(1)的垫板(22)、转动设置于所述机架(1)的转轴(24)、同轴固定设置于所述转轴(24)的压板(25)以及驱使所述转轴(24)转动的驱动件(26),所述垫板(22)和所述压板(25)之间形成有容置芯片组(a)的置芯空间(27),所述机架(1)在两组折离机构(2)之间形成有供主流道料饼(b)掰除的置饼空间(28);
所述垫板(22)上开设有至少一条供芯片组(a)上芯片(a1)嵌入的定位嵌槽(221),所述定位嵌槽(221)的延伸方向与所述垫板(22)的转动轴线方向相同;
所述折离机构(2)还包括驱使所述垫板(22)转动复位的复位件(23),所述复位件(23)安装于所述机架(1);
所述定位嵌槽(221)沿所述转轴(24)的轴线方向贯穿所述垫板(22),所述机架(1)上设置有推料机构(4),所述推料机构(4)包括用于抵推芯片(a1)的推杆(41)和驱使所述推杆(41)滑动的推力件(42),所述推力件(42)安装于所述机架(1),所述推杆(41)的滑动方向与所述定位嵌槽(221)的延伸方向相同;
所述压板(25)的上开设有至少一条供芯片组(a)上芯片(a1)嵌入让位的让位嵌槽(251),让位嵌槽(251)的延伸方向垂直于所述垫板(22)的转动轴线方向,从而使得让位嵌槽(251)靠近置芯空间(27)一侧的开口端面能够压紧在载体支架(a2)上,让位嵌槽(251)的内壁与芯片(a1)抵触有限制芯片(a1)沿所述垫板(22)的转动轴线方向移动。
2.根据权利要求1所述的半导体集成电路MGP塑封主流道残留旋转折离设备,其特征在于:所述推杆(41)包括连接杆段(411)和分别设置于所述连接杆段(411)两端的推滑杆段(412),所述连接杆段(411)与所述推力件(42)连接,每个推滑杆段(412)与一组折离机构(2)的定位嵌槽(221)滑移连接。
3.根据权利要求1所述的半导体集成电路MGP塑封主流道残留旋转折离设备,其特征在于:所述机架(1)上设置的送料机构(5)具有进料端(54)和出料端(55),所述送料机构(5)的进料端(54)同时与两组折离机构(2)的置芯空间(27)连通,所述送料机构(5)的送料方向与所述定位嵌槽(221)的延伸方向相同。
4.根据权利要求3所述的半导体集成电路MGP塑封主流道残留旋转折离设备,其特征在于:所述送料机构(5)包括导料组件(51),所述导料组件(51)包括导芯架(511),所述导芯架(511)上转动设置有主动轴(512)和从动轴(513),所述主动轴(512)同轴固定设置有至少一个主动转轮(5121),所述从动轴(513)上同轴固定设置有至少一个与所述主动转轮(5121)配合的从动转轮(5131),所述主动转轮(5121)与对应的所述从动转轮(5131)之间形成有用于夹持并输送载体支架(a2)的夹送空间(514),所述导芯架(511)或所述机架(1)上安装有驱使所述主动轴(512)转动的驱转件(515)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华龙精密模具有限公司,未经深圳市华龙精密模具有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110150565.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种聚脲涂料、涂层及其制备方法
- 下一篇:一种防喷溅铝锭生产除渣装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造