[发明专利]一种靶材喷砂后防氧化的方法

权利要求书

1.一种靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；

(2)将步骤(1)得到的喷砂靶材进行清洗，然后采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材包括金属靶材、合金靶材或陶瓷靶材中任意一种或至少两种的组合；

优选地，所述靶材的非溅射面包括待焊接面。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述喷砂处理前，采用保护板对靶材的溅射面进行遮蔽保护；

优选地，所述保护板贴合到靶材的溅射面上，其尺寸与靶材的溅射面的尺寸相同；

优选地，所述保护板的材质包括金属或塑料。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述喷砂处理所用的砂料包括刚玉类砂料；

优选地，所述砂料的粒径范围为40～60目；

优选地，步骤(1)所述喷砂处理的压力为5～8MPa。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述清洗为依次采用有机溶剂和水进行清洗；

优选地，所述有机溶剂包括异丙醇、乙醇或煤油中任意一种或至少两种的组合。

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述清洗包括超声清洗和/或喷射清洗；

优选地，步骤(2)所述清洗的温度为18～26℃；

优选地，步骤(2)所述清洗的时间为25～45min。

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述压缩气体的种类包括惰性气体、氮气或空气中任意一种或至少两种的组合；

优选地，步骤(2)所述压缩气体压力为0.4～0.6MPa。

8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述吹扫干燥的温度为70～90℃；

优选地，步骤(2)所述吹扫干燥的时间为1～2min。

9.根据权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述靶材的喷砂面的粗糙度为5～10μm；

优选地，步骤(2)所述具有干燥喷砂面的靶材的纯度为99.99％以上。

10.根据权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)将靶材的非溅射面进行喷砂处理，所述喷砂处理前，采用保护板对靶材的溅射面进行遮蔽保护，所述保护板贴合到靶材的溅射面上，其尺寸与靶材的溅射面的尺寸相同，所述喷砂处理所用的砂料包括刚玉类砂料，所述砂料的粒径范围为40～60目，所述喷砂处理的压力为5～8MPa，得到喷砂靶材；

(2)将步骤(1)得到的喷砂靶材进行清洗，所述清洗为依次采用有机溶剂和水进行清洗，包括超声清洗和/或喷射清洗，所述清洗的温度为18～26℃，时间为25～45min，然后采用压缩气体进行吹扫干燥，所述压缩气体压力为0.4～0.6MPa，所述吹扫干燥的温度为70～90℃，时间为1～2min，得到具有干燥喷砂面的靶材，所述喷砂面的粗糙度为5～10μm，靶材的纯度为99.99％以上。