[发明专利]一种半导体芯片测试探针用钯合金皇冠顶柱的成型装置

权利要求书

1.一种半导体芯片测试探针用钯合金皇冠顶柱的成型装置，其特征在于：包括工作台(8)，所述工作台(8)上固定连接有固定架(1)，所述固定架(1)的底侧固定连接有导向板(11)，所述导向板(11)的底面固定连接有导向条(18)，所述导向条(18)上滑动连接有滑块(34)，所述滑块(34)的底部固定连接有移动板(35)，所述导向条(18)的下方设有第一螺纹柱(15)，所述第一螺纹柱(15)与导向板(11)转动连接，所述第一螺纹柱(15)与移动板(35)螺纹连接，所述第一螺纹柱(15)与导向条(18)平行；

所述移动板(35)的底面固定连接有两个第一支撑板(39)，两个所述第一支撑板(39)相互远离的一侧均开设有第一通槽，所述第一通槽中均转动连接有第二转动柱(37)，所述第二转动柱(37)的外部均固定连接有第四齿轮(38)，所述第四齿轮(38)均啮合有第五齿轮(40)，所述第五齿轮(40)均位于第四齿轮(38)的下方并与第一通槽的两侧壁转动连接，所述第五齿轮(40)的底部均固定连接有夹持件(42)，所述夹持件(42)均包括连接条、连接板和两个夹持爪，所述连接条均与第五齿轮(40)的底部固定连接，所述连接条的底端均与连接板固定连接，两个所述夹持爪均与连接板的底部固定连接，四个所述夹持爪相互配合用于夹持顶柱本体(31)；

所述移动板(35)的一侧底部固定连接有延伸板，所述延伸板的一侧开设有第二通槽，所述第二通槽中转动连接有第一转动柱(36)，所述第一转动柱(36)的外部固定连接有第三齿轮(33)，所述第一转动柱(36)的两端分别延伸至第二通槽的外部，所述第二转动柱(37)的一端均延伸至第一通槽的外部，所述第一转动柱(36)的两端均通过锥齿轮分别与两个第二转动柱(37)传动连接；

两个所述第一支撑板(39)靠近第三齿轮(33)的一侧均设有第三转动柱(41)，两个所述第三转动柱(41)均分别穿过两个第一支撑板(39)并分别与两个第一支撑板(39)转动连接，所述第三转动柱(41)相互远离的一端均固定连接有第二夹爪(43)，所述第二夹爪(43)的底端均转动连接有转轴，所述转轴的两端均分别固定连接有漆轮(56)和第三滚轮(57)，所述漆轮(56)和第三滚轮(57)均分别位于第二夹爪(43)的两侧；

位于第一支撑板(39)同侧的两个第二夹爪(43)相互靠近的一侧均转动连接有第一连杆(44)，两个所述连接板分别靠近两个第二夹爪(43)的两侧均固定连接有第四转动柱(45)，所述第一连杆(44)的一端均与第一支撑板(39)对立面的第四转动柱(45)转动连接；

所述工作台(8)上设有第二底板(5)，所述第二底板(5)上设有第二夹持装置(4)，所述第二夹持装置(4)包括固定连接在第二底板(5)两侧的第三支撑板(52)，两个所述第三支撑板(52)相互远离的一侧均开设有第三通槽，一个所述第三通槽中转动连接有滑柱，另一个所述第三通槽中转动连接有第三螺纹柱(49)，所述滑柱与第三螺纹柱(49)的外部均固定连接有第二齿轮(30)，所述滑柱和第三螺纹柱(49)的两端均延伸至第三通槽的外部，所述第三支撑板(52)的两侧均设有第二横杆(47)，两个所述第二横杆(47)均分别与第三螺纹柱(49)螺纹连接，两个所述第二横杆(47)均分别与滑柱滑动连接；

所述第二夹持装置(4)还包括固定连接在第二底板(5)顶面的两个第二支撑板(50)，两个所述第二支撑板(50)均位于两个第三支撑板(52)之间，两个所述第二支撑板(50)的顶面均转动连接有第三夹爪(46)，一个所述第三夹爪(46)远离第二底板(5)的一端固定连接有第一刀头(55)，另一个第三夹爪(46)远离第二底板(5)的一端固定连接有打磨板，两个所述第三夹爪(46)的两侧均设有与第三夹爪(46)转动连接有第二滚轮(54)，两个所述第二横杆(47)分别与两个第三夹爪(46)相配合；

所述工作台(8)上设有两个第一气缸(7)，两个所述第一气缸(7)均通过支撑架与工作台(8)固定连接，两个所述第一气缸(7)分别位于导向板(11)的两侧，两个所述第一气缸(7)的伸长端均固定连接有第一连接柱(17)，两个所述第一连接柱(17)的一端均固定连接有第二驱动电机(16)，两个所述第二驱动电机(16)的底部均固定连接有第五齿条(53)，所述第五齿条(53)与第二齿轮(30)相配合，两个所述第二驱动电机(16)的顶面均通过支柱固定连接有第四齿条(32)，所述第四齿条(32)与第三齿轮(33)相配合，两个所述第二驱动电机(16)的输出轴一端均固定连接有钻孔装置(48)，所述钻孔装置(48)均包括空心柱(58)，所述空心柱(58)均与所述输出轴固定连接，所述空心柱 固定连接有弧形磨砂柱(59)，所述弧形磨砂柱(59)中设有钻头(61)，所述钻头(61)与空心柱(58)固定连接，所述空心柱(58)的端口固定连接有第二刀头(60)。