[发明专利]一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板

权利要求书

1.一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其结构包括主体(1)、支撑脚(2)、控制面板(3)，所述主体(1)的底端设有支撑脚(2)，所述控制面板(3)位于主体(1)的顶端，其特征在于：

所述主体(1)包括空槽(11)、加热装置(12)、下压装置(13)，所述空槽(11)设置在主体(1)的内部顶端，所述加热装置(12)安装在空槽(11)的底部正中间，所述下压装置(13)安装在空槽(11)的侧端，且与空槽(11)活动卡合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述加热装置(12)包括支撑板(121)、活动槽(122)、复位弹簧(123)、导热板(124)、电源线(125)，所述支撑板(121)的上端设有活动槽(122)，所述复位弹簧(123)设有四个，且横向排列于活动槽(122)的上端，所述导热板(124)卡合于活动槽(122)中，所述电源线(125)连接于导热板(124)的底部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述导热板(124)包括导热体(a1)、传热片(a2)、导热片(a3)、缓冲块(a4)，所述导热体(a1)的上端嵌固有传热片(a2)，所述导热片(a3)设有三个以上，且横向排列于传热片(a2)的下端，所述缓冲块(a4)设有三个以上，且安装在两两导热片(a3)之间。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述传热片(a2)包括传热体(a21)、嵌固座(a22)、空槽(a23)、伸缩片(a24)，所述传热体(a21)的的底端嵌固有嵌固座(a22)，所述嵌固座(a22)嵌固于导热体(a1)的端面，所述空槽(a23)设有五个以上，且横向排列于传热体(a21)的上端面，所述伸缩片(a24)安装在空槽(a23)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述下压装置(13)包括顶盖(b1)、卡合孔(b2)、把手(b3)、切槽(b4)、下压块(b5)，所述顶盖(b1)的前端设有卡合孔(b2)，所述卡合孔(b2)与主体(1)相卡合，所述把手(b3)嵌固在顶盖(b1)的顶端，所述切槽(b4)位于顶盖(b1)的底端，所述下压块(b5)嵌固在切槽(b4)的正中间。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述下压块(b5)包括固定座(b51)、变形槽(b52)、下压槽(a53)、接触片(b54)，所述固定座(b51)嵌固在下压块(b5)的顶端，所述变形槽(b52)设有三个以上，且横向排列于下压块(b5)的内部，所述下压槽(a53)位于下压块(b5)的底端，所述接触片(b54)贴合于下压槽(a53)的底部端面。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于：所述变形槽(b52)包括槽体(c1)、缓冲槽(c2)、凹槽(c3)，所述槽体(c1)的两端设有缓冲槽(c2)，所述缓冲槽(c2)为三角形状，所述凹槽(c3)设有六个，且以三个为一组横向排列于槽体(c1)的上下两端。