[发明专利]设备前端模块及其操作方法

权利要求书

1.一种设备前端模块，其特征在于，包含：

一壳体，相对于该壳体周围环境提供一隔离环境，该壳体包含在该壳体的一内部与该壳体的一外部之间延伸的一容器接取端口；

一前开式通用容器座，位于该壳体的该外部，该前开式通用容器座配置以承放一前开式通用容器，使得该前开式通用容器对齐该容器接取端口；以及

一空气幕系统，包含：

一气体源室；

一排放喷嘴，与该气体源室流体连通，并定位以导流排出经过该容器接取端口的一空气幕，该排放喷嘴朝该容器接取端口的一第一侧延伸一长度；

一气体收集室；以及

一进气孔，与该气体收集室流体连通，并定位以接收由该排放喷嘴排出的该空气幕，该进气孔朝该容器接取端口的一第二侧延伸一长度，该容器接取端口的该第二侧位于与该第一侧相对的一侧上。

2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，其中该壳体还包含在该壳体的该内部与该壳体的该外部之间延伸的一机台接取端口。

3.根据权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，其中该壳体配置以在一位置耦接一处理机台，使得该处理机台的一内部可经由该机台接取端口接取。

4.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，其中该空气幕系统还包含：

一过滤器，耦接在该气体源室与该气体收集室之间，并位于该前开式通用容器座内。

5.一种设备前端模块的操作方法，其特征在于，包含：

接收一命令，该命令指示将停靠在一设备前端模块的一容器接取端口处的一前开式通用容器中的一制品，传送到与该设备前端模块的一机台接取端口耦接的一处理机台；

产生一第一空气幕经过该容器接取端口且在该设备前端模块之内；

在产生该第一空气幕后，开启该容器接取端口与该机台接取端口；

在开启该容器接取端口与该机台接取端口后，使该制品经过该容器接取端口、该第一空气幕与该机台接取端口；

在使该制品经过该容器接取端口、该第一空气幕与该机台接取端口后，关闭该容器接取端口与该机台接取端口；以及

在关闭该容器接取端口与该机台接取端口后，停止产生该第一空气幕。

6.根据权利要求5所述的操作方法，其特征在于，其中产生一第一空气幕包含产生一垂直流动的该第一空气幕经过该容器接取端口。

7.根据权利要求5所述的操作方法，其特征在于，还包含：

产生一第二空气幕经过该机台接取端口且在该设备前端模块之内，其中开启该容器接取端口与该机台接取端口在产生该第二空气幕后执行。

8.一种设备前端模块的操作方法，其特征在于，包含：

接收一命令，该命令指示将与一设备前端模块的一机台接取端口耦接的一处理机台中的一制品，传送到停靠在该设备前端模块的一容器接取端口处的一前开式通用容器；

产生一第一空气幕经过该容器接取端口且在该设备前端模块之内；

在产生该第一空气幕后，开启该容器接取端口与该机台接取端口；

在开启该容器接取端口与该机台接取端口后，使该制品经过该机台接取端口、该第一空气幕与该容器接取端口；

在使该制品经过该机台接取端口、该第一空气幕与该容器接取端口后，关闭该容器接取端口与该机台接取端口；以及

在关闭该容器接取端口与该机台接取端口后，停止产生该第一空气幕。

9.根据权利要求8所述的操作方法，其特征在于，其中该空气幕由上而下经过该容器接取端口。

10.根据权利要求8所述的操作方法，其特征在于，还包含：

产生一第二空气幕经过该机台接取端口且在该设备前端模块之内；以及

在关闭该容器接取端口与该机台接取端口后，停止产生该第二空气幕。