[发明专利]加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置

权利要求书

1.一种加热源的寿命估计系统，估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制，其中，

所述温度控制器控制向所述加热源投入的功率，并且实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，

所述寿命估计系统具有：

温度监视器部，其对所述温度测定器测定出的所述对象物的测定温度进行监视；

波动量探测部，其探测由所述温度监视器部监视到的所述对象物的温度在稳定区域中的波动量；以及

寿命估计部，其根据由所述波动量探测部探测到的所述波动量来估计所述加热源的寿命。

2.根据权利要求1所述的加热源的寿命估计系统，其中，

所述寿命估计部求出所述波动量与所述加热源的输出之间的关系，根据该关系来估计所述加热源的寿命。

3.根据权利要求1所述的加热源的寿命估计系统，其中，

所述寿命估计部预先设定所述加热源的所述波动量的阈值，并将所述阈值作为进行所述寿命的估计的基准。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的加热源的寿命估计系统，其中，

所述加热源是LED。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的加热源的寿命估计系统，其中，

所述温度控制器将包括所述加热源的加热系统作为加热设备，并搭载将该加热设备进行了模型化的观测器，对所述观测器与所述加热设备之间的差分偏差进行反馈。

6.根据权利要求5所述的加热源的寿命估计系统，其中，

所述温度控制器还具有控制单元，该控制单元进行包括滑动模式控制的控制，该滑动模式控制是基于所述对象物的温度测定值来向所述加热设备和所述观测器输出包括电力信号的控制信号的控制。

7.一种加热源的寿命估计方法，用于估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，利用温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制，其中，

所述温度控制器控制向所述加热源投入的功率，并且实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，

所述寿命估计方法包括以下步骤：

对所述温度测定器测定出的所述对象物的测定温度进行监视；

对监视到的所述对象物的温度在稳定区域中的波动量进行探测；以及

根据探测到的所述波动量来估计所述加热源的寿命。

8.根据权利要求7所述的加热源的寿命估计方法，其中，

求出所述波动量与所述加热源的输出之间的关系，根据该关系来估计所述寿命。

9.根据权利要求7所述的加热源的寿命估计方法，其中，

预先设定所述加热源的所述波动量的阈值，将所述阈值作为进行所述寿命的估计的基准。

10.根据权利要求7至9中的任一项所述的加热源的寿命估计方法，其中，

所述加热源是LED。

11.根据权利要求7至10中的任一项所述的加热源的寿命估计方法，其中，

所述温度控制器将包括所述加热源的加热系统作为加热设备，并搭载将该加热设备进行了模型化的观测器，对所述观测器与所述加热设备之间的差分偏差进行反馈。