[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其对板状的被加工物进行保持；

激光束照射单元，其包含聚光器，该聚光器用于向该卡盘工作台所保持的被加工物的正面照射激光束而通过烧蚀加工形成激光加工槽；以及

碎屑排出单元，其配设在该聚光器与该被加工物之间的空间中，将通过向被加工物照射该激光束而产生在加工点附近的碎屑吸引并排出，

该碎屑排出单元包含：

集尘单元；以及

吸引源，其与该集尘单元连接，

该集尘单元包含：

倾斜部，其具有允许激光束通过的透过部，并具有与被加工物相邻的第一边和与被加工物远离的第二边；

顶部，其与该第二边连结；

底壁，其在与该透过部对应的位置具有允许激光束通过的开口，并且该底壁与该第一边连结；以及

侧壁，其从该顶部和该倾斜部向该底壁垂下。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

该倾斜部的倾斜为20度以上且40度以下。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

该碎屑排出单元还包含辅助气体喷出单元，

该辅助气体喷出单元在该开口的附近具有喷出口，通过从该喷出口朝向被加工物的正面喷出气体，将产生在加工点附近的碎屑向该集尘单元吹送。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

该辅助气体喷出单元被设定为与该倾斜部的倾斜垂直的角度±10度以内的角度。

5.根据权利要求1或3所述的激光加工装置，其特征在于，

该集尘单元具有随着从该吸引源朝向加工点而直径逐渐缩小的缩径部。