[发明专利]一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 202110160013.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112981404B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 四川和晟达电子科技有限公司;江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
1.一种钛合金蚀刻液组合物一种钛合金蚀刻液组合物，其特征在于，所述组合物包括主剂和辅剂，所述主剂原料包括：按质量百分比，过氧化氢8-12％，无机酸0.01-3％，有机酸2-8％，碱类化合物2-8％，双氧水稳定剂0.05-2％，金属缓蚀剂0.01-0.3％，电化学抑制剂0.001-0.5％，溶剂补充余量；所述辅剂原料包括：按质量百分比，无机酸0.1-3％，有机酸10-30％，碱类化合物10-30％，金属缓蚀剂0.03-0.5％，电化学抑制剂0.1-1％，溶剂补充余量，所述主剂和辅剂中的电化学抑制剂均为对羟基苯甲醚；所述一种钛合金蚀刻液组合物的使用方法，在蚀刻温度30-35℃的条件下，加入主剂，之后随着蚀刻过程中铜离子浓度的升高，向体系中补加辅剂。
2.根据权利要求1所述一种钛合金蚀刻液组合物，其特征在于，所述主剂和辅剂中的无机酸均包括硫酸、硝酸的一种或几种。
3.根据权利要求1所述一种钛合金蚀刻液组合物，其特征在于，所述主剂和辅剂中的有机酸均选自羧酸类有机酸。
4.根据权利要求1所述一种钛合金蚀刻液组合物，其特征在于，所述主剂中的双氧水稳定剂选自脲类和磺酸类化合物。
5.根据权利要求1所述一种钛合金蚀刻液组合物，其特征在于，所述主剂和辅剂中的金属缓蚀剂均选自氨基氮唑类化合物。
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