[发明专利]输送设备、生产系统以及用于制造物品的方法

说明书

本公开涉及一种输送设备，其包括可动件、固定件和控制单元。所述可动件沿第一方向移动。所述固定件包括沿所述第一方向布置的多个第一传感器。所述多个第一传感器中的每一个可以检测关于所述可动件的位置信息。所述控制单元基于所述多个第一传感器中的至少一个与所述可动件之间的相对位置中的至少一个来校正关于所述可动件的位置信息并且控制所述可动件的位置和/或取向。所述相对位置通过(a)所述多个第一传感器的检测值和/或(b)所述多个第一传感器各自检测关于所述可动件的位置信息的检测时间来获得。本公开还涉及一种生产系统和一种用于制造物品的方法。

技术领域

本公开的各方面总体上涉及输送设备、生产系统以及用于制造物品的方法。

背景技术

通常，输送设备用在用于组装工业产品的生产线中或用在例如半导体曝光设备的生产系统中。具体地，用于用在生产线中的输送设备在自动化生产线内或在生产线之间的多个站之间输送工件，例如部件。此外，输送设备也可以在生产设备(处理设备)内部使用。一些先前提出的输送设备包括使用移动磁体型线性马达的输送设备。

在使用移动磁体型线性马达的输送设备中，永磁体安装在可动件上，并且线性马达固定件以面对永磁体的方式设定在框架上。另外，用于检测可动件的传感器设置在固定件设定在其上的框架上。基于由传感器获得的检测数据来计算可动件的位置和取向，并且基于计算出的可动件的位置和取向来控制可动件，使得执行对线性马达的驱动控制。

例如，日本专利申请特开No.5-64315讨论了用于控制移动磁体型磁悬浮输送设备的方法。在日本专利申请特开No.5-64315中讨论的磁悬浮输送设备中，可动件以始终面对三个位移传感器和六个磁极的方式设定，并且位移传感器用于计算到可动件的竖直方向距离，使得确定和控制可动件的三维坐标。

发明内容

根据本公开的一方面，输送设备包括可动件，所述可动件构造成沿第一方向移动；固定件，所述固定件包括沿所述第一方向布置的多个第一传感器，其中所述多个第一传感器中的每一个构造成检测关于所述可动件的位置信息；以及控制单元，所述控制单元构造成基于所述多个第一传感器中的至少一个与所述可动件之间的相对位置中的至少一个来校正关于所述可动件的位置信息并且控制所述可动件的位置和/或取向，其中所述相对位置通过(a)所述多个第一传感器的检测值和/或(b)所述多个第一传感器各自检测关于所述可动件的位置信息的检测时间来获得。

参考附图，根据示例性实施例的以下描述，本公开的其他特征将变得显而易见。

附图说明

图1是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送设备的示意图。

图2A和图2B是示出根据本公开的第一示例性实施例的输送设备的示意图。

图3是本公开的第一示例性实施例中的输送系统的构型图。

图4是示出本公开的第一示例性实施例中的数据流的示意图。

图5是用于说明本公开的第一示例性实施例中的输送方向位置检测的示意图。

图6A和图6B是用于说明本公开的第一示例性实施例中的在垂直于输送方向的方向上的可动件取向计算信息处理的示意图。

图7A、图7B、图7C、图7D和图7E是示例性地示出本公开的第一示例性实施例中的用于基于关于传感器的安装位置信息来计算系数的函数的示意图。

图8A和图8B是用于说明本公开的第一示例性实施例中的在与垂直于输送方向的图6A和图6B所示的方向不同的方向上的可动件取向计算信息处理的示意图。

图9是用于说明本公开的第一示例性实施例中的在垂直于输送方向的方向上的可动件取向计算处理的示意图。

图10A和图10B是用于说明本公开的第一示例性实施例中的在与垂直于输送方向的图9所示的方向不同的方向上的可动件取向计算处理的示意图。