[发明专利]一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备在审
申请号: | 202110160838.7 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN113136566A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 刘仁兴 | 申请(专利权)人: | 刘仁兴 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/02;C23C16/56;C23C16/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 光伏板 气浮式 高效 镀膜 设备 | ||
1.一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,包括设备箱体(1),其特征在于:所述设备箱体(1)上端自左至右分为前处理区、镀膜区和后处理区,所述前处理区、镀膜区和后处理区内均安装有一对相匹配的气浮轨道组件(4),所述设备箱体(1)上端固定安装有一对处理板(5),两个处理板(5)分别位于前处理区和镀膜区,所述设备箱体(1)上端固定安装有镀膜板(6),所述镀膜板(6)位于镀膜区,所述设备箱体(1)上端固定连接有位于镀膜板(6)上侧的反应罩(3),所述反应罩(3)下端固定连接有与镀膜板(6)相配的反向气撑板(7),所述反应罩(3)左右两端均固定连接有与处理板(5)相匹配的防尘罩(2);
所述镀膜板(6)上端开设有多个回气长孔(601),所述镀膜板(6)内开设有与回气长孔(601)呈间隔设置的均气腔(602),所述镀膜板(6)上端开设有多个与均气腔(602)相接通的分气孔(603),所述镀膜板(6)下端固定连接有与均气腔(602)相接通的接气管(604);
所述设备箱体(1)左右两端均固定安装有与气浮轨道组件(4)相匹配的运料机构(8),所述设备箱体(1)内固定安装有分别与气浮轨道组件(4)、镀膜板(6)和反向气撑板(7)相匹配的气体控制机构,所述设备箱体(1)内固定安装有镀膜控制器,所述镀膜控制器内设置有镀膜控制系统。
2.根据权利要求1所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述气浮轨道组件(4)包括有移动轨道(401),所述反应罩(3)上端固定连接有移动轨道(401),所述移动轨道(401)左端固定连接有电机罩(402),所述电机罩(402)内安装有移动电机(403),所述移动电机(403)输出端固定连接有滚珠丝杆(404),所述滚珠丝杆(404)右端延伸至移动轨道(401)内,并与移动轨道(401)转动连接,所述移动轨道(401)外端通过滚珠丝杆套固定连接有气浮块(405)。
3.根据权利要求2所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述气浮块(405)内部开设有进气腔(4051),所述气浮块(405)上端开设有多个与进气腔(4051)相接通的吹起孔(4052),所述气浮块(405)下端固定连接有与进气腔(4051)相接通的气管接头(4053)。
4.根据权利要求3所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述移动轨道(401)下端开设有与气管接头(4053)相匹配的滑动通孔(406),所述气管接头(4053)通过管道与气体控制机构相接通。
5.根据权利要求1所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:位于前处理区的所述处理板(5)内设置有电加热丝,位于后处理区的所述处理板(5)内设置有冷却风扇,两个所述处理板(5)上端均转动连接有静电吸附柱(501)。
6.根据权利要求1所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述反向气撑板(7)内开设有反向均气腔(701),所述反向气撑板(7)下端开设有多个与反向均气腔(701)相接通的反向分气孔(702)。
7.根据权利要求6所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述回气长孔(601)和接气管(604)均与气体控制机构相接通,所述反向均气腔(701)通过气管与气体控制机构相接通。
8.根据权利要求1所述的一种用于光伏板的气浮式高效镀膜设备,其特征在于:所述回气长孔(601)的数量为9个,所述均气腔(602)的数量为7个。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的