[发明专利]一种化学机械抛光机及其操作方法

权利要求书

1.一种化学机械抛光机，其结构包括机箱(1)、工作台(2)、工件放置座(3)、密封抛光结构(4)、机座(5)、驱动箱(6)，所述工作台(2)水平安装于机箱(1)上端，所述工件放置座(3)嵌入安装于工作台(2)内侧，所述密封抛光结构(4)位于工件放置座(3)正上方，所述密封抛光结构(4)竖直安装于机座(5)下端，所述驱动箱(6)嵌入安装于机座(5)内侧；其特征在于：

所述密封抛光结构(4)包括密封结构(41)、连接座(42)、卡板(43)、旋转轴(44)、活动结构(45)，所述密封结构(41)水平安装于连接座(42)下端，所述旋转轴(44)竖直安装于卡板(43)上端，所述活动结构(45)活动连接于连接座(42)上端；

所述密封结构(41)包括限位板(411)、抛光板(412)、侧围挡(413)、密封腔(414)、限制结构(415)，所述限位板(411)固定安装于活动结构(45)下端，所述抛光板(412)水平安装于限位板(411)下端，所述侧围挡(413)安装于连接座(42)下端，所述密封腔(414)设于侧围挡(413)内侧，所述限制结构(415)嵌入安装于侧围挡(413)内侧。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光机，其特征在于：所述限制结构(415)包括内槽(15a)、活动块(15b)、连杆结构(15c)、密封板(15d)，所述内槽(15a)设于侧围挡(413)内侧，所述连杆结构(15c)嵌入安装于内槽(15a)上端，所述活动块(15b)设于内槽(15a)外侧，所述密封板(15d)位于活动块(15b)下端。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光机，其特征在于：所述连杆结构(15c)包括支架(c1)、连杆(c2)、弹簧(c3)，所述连杆(c2)安装于支架(c1)外侧，所述弹簧(c3)设于内槽(15a)并且左端抵在连杆(c2)内侧上方，所述活动块(15b)与密封板(15d)分别安装于连杆(c2)上下两端。

4.根据权利要求3所述的一种化学机械抛光机，其特征在于：所述支架(c1)与连杆(c2)之间的活动角度为0-30度，支架(c1)与连杆(c2)相互垂直时为初始状态，所述连杆(c2)两端分别与活动块(15b)、密封板(15d)铰链连接。

5.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光机，其特征在于：所述密封板(15d)包括板体(d1)、密封圈(d2)、通道(d3)、收集结构(d4)，所述密封圈(d2)安装于板体(d1)内侧，所述通道(d3)倾斜贯穿于板体(d1)内侧并且下端与收集结构(d4)上端相连通，所述收集结构(d4)嵌入安装于内槽(15a)下端。

6.根据权利要求5所述的一种化学机械抛光机，其特征在于：所述收集结构(d4)包括收集槽(d41)、隔板(d42)、支撑块(d43)、连通口(d44)，所述隔板(d42)水平安装于收集槽(d41)上端，所述支撑块(d43)竖直安装于隔板(d42)上端左侧，所述连通口(d44)贯穿于支撑块(d43)内侧。

7.根据权利要求1-6项中任一项所述的一种化学机械抛光机及其操作方法，其特征在于：

在活动块(15b)向内压缩时，将推动连杆(c2)上端压缩弹簧(c3)并且向外侧移动，进而使连杆(c2)旋转而推出下端的密封板(15d)，而完成密封，此时板体(d1)内侧的密封圈(d2)将进行密封，而产生的粉尘将随着板体(d1)上端的通道(d3)进入，而通过支撑块(d43)内侧的连通口(d44)，并且送入到收集槽(d41)内侧进行收集，在完成抛光后，板体(d1)将复位，进而堵住连通口(d44)，而防止粉尘飘出。