[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其中，

该加工装置包含：

卡盘工作台，其利用保持面对具有表示晶体取向的标记的被加工物进行保持；

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物利用磨削磨具进行磨削或利用研磨垫进行研磨；

盒载台，其载置搁板状的盒，该盒能够收纳多个被加工物；

暂放工作台，其暂放被加工物；

旋转工作台，其对要清洗的被加工物进行保持；

机器人，其将载置于该盒载台的该盒内的被加工物搬送至该暂放工作台上，或者将该旋转工作台所保持的被加工物搬送至载置于该盒载台上的该盒内；

判断部，其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工；以及

控制单元，在该判断部判断为被加工物被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向规定的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中，在该判断部判断为被加工物未被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向与该规定的方向不同的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该加工装置还包含对被加工物的厚度进行测量的厚度测量器，

所述判断部根据该厚度测量器所测量的被加工物的厚度而判断被加工物是被正常加工的被加工物还是未被正常加工的被加工物。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，

所述判断部还具有多个判断部，

所述不同的方向按照该多个判断部中的每个判断部不一致的方式预先设定，

该多个判断部构成为能够以分别不同的判断基准对是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物进行判断，

在构成该多个判断部的一个以上的判断部判断为被加工物未被正常加工时，所述控制单元进行使所述标记朝向根据进行了该判断的该判断部而设定的该不同的方向的控制，并将被加工物收纳于所述盒中。