[发明专利]一种新型的板压式层压机及层压板状件的施压方法有效
申请号: | 202110172250.3 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN113002039B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 刘晓勇;韩兴;柴兴刚;刘博明 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛可视自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B32B37/10;B30B1/32;B30B1/38;B30B15/34;B30B15/06;B30B15/00;H01L31/048 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 刘星雨 |
地址: | 066000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 板压式 层压 层压板 施压 方法 | ||
1.一种新型的板压式层压机,其特征在于,包括上下相对设置的板状压靠件(401),板状压靠件相互压靠时相邻两个板状压靠件间的空间形成容纳工件的腔体,所述腔体构成挤压层,所述挤压层为一层或两层及两层以上,所述腔体的高度大于工件的厚度,升降驱动装置(300)驱动板状压靠件(401)相互压靠或相互远离并提供二者间相互挤压的挤压动力,通过板状压靠件间的挤压力压制工件;
上下两个压靠件间设置弹性件(406),上下两个压靠件相互压靠时由所述弹性件完全封闭或断续封闭二者间的空隙;
所述弹性件为弹性密封件,板状压靠件相互压靠时通过弹性密封件(406)密封二者间的空隙形成所述的腔体,所述层压机上设置抽真空接口和抽真空通道,抽真空接口和抽真空通道用于与抽真空装置连接对所述的腔体抽真空;
当挤压层闭合时相邻两层层压工作层的板状压靠件之间的距离△h大于组件的厚度,且各层的弹性密封件能够产生有效密封;或当挤压层闭合抽真空时相邻两层层压工作层的板状压靠件之间距离△h大于等于所压制的组件的厚度,且各层的充气密封圈能够产生有效密封,施以层压工作压力时相邻两层层压工作层的板状压靠件之间距离△h等于或小于所施压的组件的厚度以实现通过两相邻压靠件对组件施加压力,所述的板状压靠件的板本体设置有加热装置;或当挤压层闭合时各层的充气密封圈能够产生有效密封,且抽真空时相邻两层层压工作层的板状压靠件之间的距离△h等于或小于所压制的组件的厚度;
包括上盖(102)和底座(101),上盖位于顶层板状压靠件的上方,底座位于底层的板状压靠件的下方,各板状压靠件均通过滑动连接结构与立柱上下滑动连接,升降驱动装置通过驱动上盖和底座相互靠近驱动板状压靠件相互压靠闭合并挤压,闭合时,均由各自的闭合定位支撑装置支撑各板状压靠件;
所述的升降驱动装置为油缸/气缸,所述的上盖、底座与板状压靠件相对的一面分别为平面,上盖固定设置,底座与油缸/气缸的缸杆固定连接,位于中间的板状压靠件的闭合定位支撑装置为顶紧油缸/气缸(201),顶紧油缸/气缸的缸体固定设置在底座上,在每个板状压靠件上与顶紧油缸/气缸相对的位置分别设置有顶块(203),顶紧油缸/气缸的缸杆的伸缩长度和与其对应的板状压靠件的闭合位置相适应,当闭合时顶紧油缸/气缸的缸杆顶住对应层的顶块,位于顶层的板状压靠件的闭合定位支撑装置为伸缩油缸/气缸(202),伸缩油缸/气缸的缸体固定设置在上盖上,缸杆与顶层的板状压靠件固定连接,开盖支撑装置为挡块,每层的板状压靠件的挡块均设置在立柱上,各层的板状压靠件位于相对应层的挡块上方由挡块支撑,当层压机闭合时,每个顶紧气缸可输出大小与所对应的板状压靠件自身重量及所承载的重量之和大小一致的力,伸缩气缸可输出与顶层板状压靠件间重量和其所承载的重量之和相等的拉力。
2.如权利要求1所述的一种新型的板压式层压机,其特征在于,所述的抽真空接口设置在任一板状压靠件上,在设置有抽真空接口的板状压靠件上设置有真空通道,位于底层和顶层间的每个板状压靠件上位于弹性密封件内侧设置有通气孔。
3.如权利要求1所述的一种新型的板压式层压机,其特征在于,所述的板状压靠件的板本体设置有加热装置。
4.如权利要求1所述的一种新型的板压式层压机,其特征在于,底座与位于最下方的板状压靠件间设置密封件,上盖与位于最顶层的板状压靠件间设置有密封件,闭合时底座与位于最下方的板状压靠件间的间隙通过密封件密封形成密封腔一,上盖与位于最顶层的板状压靠件间的间隙通过密封件密封形成密封腔二,所述的抽真空接口和抽真空通道均设置在底座和/或上盖上,在位于底座和上盖间的板状压靠件上位于弹性密封件内侧均设置有通气孔,密封腔一和密封腔二内不进行工件挤压。
5.如权利要求1所述的一种新型的板压式层压机,其特征在于,所述的弹性密封件(406)为充气密封圈,充气密封圈的一端位于密封槽内,另一端位于密封槽外,所述的密封槽设置在板状压靠件的下表面周边。
6.如权利要求1所述的一种新型的板压式层压机,其特征在于,所述的抽真空接口和抽真空通道设置在上盖上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的