[发明专利]气体幕帘元件、传送气体的导管系统与传送气体的方法

权利要求书

1.一种气体幕帘元件，其特征在于，包含：

一导管衬套，该导管衬套包含通过该导管衬套的一螺旋形通风口；及

一导管接头，围绕该导管衬套的一部分，该导管接头包含与该导管衬套的该螺旋形通风口呈流体连通的多个气体进入端口。

2.根据权利要求1所述的气体幕帘元件，其特征在于，该螺旋形通风口具有一第一宽度，沿着该导管接头附近的该导管衬套的一长度所量测，且该螺旋形通风口具有一第二宽度，在距该导管接头量测该第一宽度的一位置更远的一位置处，沿着该导管衬套的一长度所量测，其中该第二宽度大于该第一宽度。

3.根据权利要求1所述的气体幕帘元件，其特征在于，该导管衬套的一端部包含一凸缘。

4.一种传送气体的方法，其特征在于，包含：

使来自用于处理一基材的一气体容纳腔室的一废气流动通过一废气导管；

使一冲排气体流动至一废气导管接头的多个气体进入端口的其中一个气体进入端口中；

使该冲排气体流动通过该废气导管中的一废气导管衬套中的一螺旋形通风口；及

沿着该废气导管衬套的一内部表面创造一冲排气体的幕帘。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，该废气导管衬套具有一外径，且该废气导管具有一内径，该废气导管衬套的该外径小于该废气导管的该内径。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，使该冲排气体流动至该废气导管接头中的多个气体进入端口中包含：使该冲排气体流动至该废气导管接头中的三个或更多个冲排气体进入端口中。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，该废气导管衬套中的该螺旋形通风口具有一第一宽度，该第一宽度沿着该废气导管衬套的一长度所量测，且该废气导管衬套中的该螺旋形通风口具有一第二宽度，该第二宽度在量测该第一宽度的一位置的下游的一位置处，沿着该废气导管衬套的一长度所量测，其中该第二宽度大于该第一宽度。

8.一种用于传送一气体的导管系统，其特征在于，包含：

一导管，与用于一半导体基材的一处理腔室流体连通；

一导管衬套，在该导管之中，该导管衬套包含一螺旋形通风口，该螺旋形通风口沿着该导管衬套的一长度的一宽度为可变的；

一导管接头，围绕该导管衬套的一部分并围绕该导管的一部分，该导管接头包含多个气体进入端口，所述多个气体进入端口与该导管的一内部呈流体连通；及

一密封件，位于该导管与该导管接头间。

9.根据权利要求8所述的导管系统，其特征在于，该导管接头的一内部表面包含一斜表面。

10.根据权利要求8所述的导管系统，其特征在于，还包含从该导管衬套的一外部延伸的一导管指状件，该导管指状件接触该导管。