[发明专利]悬浮运输设备和激光处理设备

权利要求书

1.一种悬浮运输设备，其特征在于，包括悬浮单元，该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来悬浮所述基板，该悬浮单元包括：

多个喷射口，设置在面对所述基板的表面上，并构造成喷射所述气体；和

狭缝，在竖直方向上贯穿所述悬浮单元；

其中，所述悬浮运输设备被构造成使得滞留在所述悬浮单元的面对所述基板的表面与所述基板之间的气体经由所述狭缝被排放到所述悬浮单元的下表面所在的一侧。

2.根据权利要求1所述的悬浮运输设备，其特征在于，

设置在所述狭缝周围的所述喷射口的密度高于设置在所述悬浮单元的除了所述狭缝周围的区域以外的区域中的所述喷射口的密度。

3.根据权利要求1所述的悬浮运输设备，其特征在于，

所述悬浮单元中还设有从所述悬浮单元的所述下表面向下突出的多个调平螺栓，

通过使多个所述调平螺栓与安装面接触，将所述悬浮单元安装在所述安装面上，以及

滞留在所述悬浮单元的面对所述基板的所述表面和所述基板之间的所述气体经由所述狭缝被排放到所述悬浮单元的所述下表面与所述安装面之间的空间中。

4.根据权利要求3所述的悬浮运输设备，其特征在于，

排放到所述悬浮单元的所述下表面和所述安装面之间的所述空间中的所述气体经由所述调平螺栓之间的间隙进一步排放到外部。

5.根据权利要求1所述的悬浮运输设备，其特征在于，

所述狭缝设置为使所述狭缝的长度方向与所述基板的运输方向平行。

6.根据权利要求1所述的悬浮运输设备，其特征在于，

在所述悬浮单元的一侧设置有运输单元，该运输单元在保持所述基板的同时沿所述基板的运输方向运输所述基板，并且

在所述悬浮单元的上表面中且在与所述运输方向垂直的方向上，所述狭缝设置得更靠近所述运输单元而非更靠近中央位置。

7.根据权利要求6所述的悬浮运输设备，其特征在于，

所述狭缝沿所述运输方向设置在所述悬浮单元的运输单元一侧。

8.根据权利要求6所述的悬浮运输设备，其特征在于，

在所述基板静止的位置处的所述狭缝的密度比在所述基板连续移动的位置处的所述狭缝的密度高。

9.根据权利要求8所述的悬浮运输设备，其特征在于，

所述基板静止的位置是设置有用于沿面内方向旋转所述基板的旋转机构的位置。

10.根据权利要求8所述的悬浮运输设备，其特征在于，

所述基板静止的位置是将所述基板从一个所述运输单元运输到下一个所述运输单元的位置。

11.一种激光处理设备，其特征在于，包括：

悬浮运输设备，包括悬浮单元，该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来悬浮所述基板；和

激光生成单元，被配置为生成待施加到所述基板的激光束；

其中，所述悬浮单元包括：

多个喷射口，设置在面对所述基板的表面上，并构造成喷射所述气体；和

狭缝，在竖直方向上贯穿所述悬浮单元；

其中，所述悬浮运输设备被构造成使得滞留在所述悬浮单元的面对所述基板的表面与所述基板之间的所述气体经由所述狭缝被排放到所述悬浮单元的下表面所在的一侧。

12.根据权利要求11所述的激光处理设备，其特征在于，

设置在所述狭缝周围的所述喷射口的密度高于设置在所述悬浮单元的除了所述狭缝周围的区域以外的区域中的所述喷射口的密度。