[发明专利]悬浮运输设备和激光处理设备

说明书

本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。根据一实施方式的悬浮运输设备包括悬浮单元，该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来悬浮基板。悬浮单元包括：多个喷射口，设置在面对基板的表面上并被构造成喷射气体；以及狭缝，沿竖直方向穿透悬浮单元。悬浮运输设备被构造成使得滞留在悬浮单元的面对基板的表面与基板之间的气体经由狭缝被排放到悬浮单元的下表面侧。

技术领域

本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。本发明尤其涉及一种在使基板悬浮的同时运输基板的悬浮运输设备和激光处理设备。

背景技术

在制造液晶显示面板、有机EL面板等的过程中，由于要使用的基板较大，因此广泛使用用于在使基板悬浮的同时运输基板的悬浮运输设备。公开号为2019-192681的日本未经审查的专利申请公开了一种涉及悬浮运输设备的技术，该悬浮运输设备用于通过向基板吹气来悬浮和运输基板。

发明内容

问题在于，在使基板悬浮的同时对基板进行运输的悬浮运输设备中，基板的悬浮量会发生变化。尤其是，需要一种用于向基板照射激光束的激光处理设备，以提高基板的悬浮精度，因为基板悬浮量的变化极大地影响了激光处理后基板上薄膜等的质量。

根据本说明书的描述以及附图，其他问题及新颖特征将变得容易理解。

一个示例性方面是一种悬浮运输设备，该悬浮运输设备包括悬浮单元，该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来使基板悬浮。悬浮单元包括：多个喷射口，设置在面对基板的表面上并被构造成喷射气体；以及狭缝，沿竖直方向穿透悬浮单元。悬浮运输设备被构造成使得滞留在悬浮单元的面对基板的表面与基板之间的气体经由狭缝被排放到悬浮单元的下表面侧。

根据示例方面的激光处理设备包括上述悬浮运输设备和被配置为生成将被施加到基板的激光束的激光生成单元。

根据以上方面，可以提供一种可以提高基板的悬浮精度的悬浮运输设备和激光处理设备。

根据下文给出的详细描述和附图，本公开内容的上述和其他目的、特征和优点将变得更加充分地理解，附图仅通过说明的方式给出，因此不应视为对本公开内容的限制。

附图说明

图1为第一实施方式悬浮运输设备的截面图。

图2为悬浮运输设备所包含的悬浮单元的上板的俯视图。

图3为悬浮运输设备所包含的悬浮单元的下板的俯视图。

图4为第一实施方式悬浮运输设备的截面图。

图5为现有技术悬浮运输设备的截面图。

图6为第二实施方式采用悬浮运输设备的激光处理设备的俯视图。

图7为第二实施方式采用悬浮运输设备的激光处理设备的俯视图。

图8为第三实施方式采用悬浮运输设备的激光处理设备的俯视图。

图9为第三实施方式采用悬浮运输设备的激光处理设备的俯视图。

图10为第四实施方式采用悬浮运输设备的激光处理设备的俯视图。

具体实施方式

第一实施方式

以下参考附图，对第一实施方式进行说明。图1为第一实施方式悬浮运输设备的截面图。如图1所示，本实施方式的悬浮运输设备1是通过将气体喷射至基板30的下表面而使基板30悬浮的同时将基板30在运输方向(x轴的正方向)上运输的设备。

如图1所示，根据本实施例的悬浮运输设备1包括悬浮单元5。悬浮单元5由上板10和下板20组成。上板10设置在悬浮运输设备1的上侧(z轴方向的正侧)。下板20配置在上板10的下方(z轴方向的负侧)。例如，上板10和下板20可以由诸如铝合金的金属材料制成，该金属材料可选地被镀覆。