[发明专利]一种晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法在审
| 申请号： | 202110178921.7 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112964802A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 倚娜 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/12 |
| 代理公司： | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人： | 郝杰 |
| 地址： | 710032 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装载 盒中低 沸点 有机物 含量 测试 方法 | ||
1.一种晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于,包括以下步骤：
S10、准备未装载硅片的晶圆装载盒，闭合晶圆装载盒，在所述晶圆装载盒的过滤器口上安装过滤器；
S20、将晶圆装载盒放入烤箱中，所述烤箱升温至40℃-60℃；
S30、所述烤箱保温4小时-6小时；
S40、从烤箱中取出所述晶圆装载盒，并取下所述晶圆装载盒上安装的过滤器，将空气采样泵上安装的吸附管与晶圆装载盒的过滤器口连接；
S50、设定空气采样泵的抽吸时间t和抽吸速度Se，将所述晶圆装载盒内的气体收集至所述吸附管；
S60、将所述吸附管放置在热解吸附仪上解吸附，并用GC-MS分析仪分析解吸附后的气体。
2.根据权利要求1所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，在步骤S50中，所述抽吸时间t和抽吸速度Se之间的关系根据以下公式确定：
其中，P1为空气采样泵抽吸前所述晶圆装载盒中的初期压强；P2为空气采样泵抽吸后晶圆装载盒内的目标压强；t为抽气时间；V为晶圆装载盒的容积；Se为空气采样泵的抽气速度。
3.根据权利要求2所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，所述抽吸时间t为25分钟-40分钟。
4.根据权利要求1所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，在步骤S20中，所述烤箱升温至50℃。
5.根据权利要求1所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，在步骤S20中，所述烤箱升温速度为10℃/h-30℃/h。
6.根据权利要求5所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，所述烤箱升温速度为15℃/h。
7.根据权利要求1所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，在步骤S30中，所述烤箱保温时间为5小时。
8.根据权利要求1所述的晶圆装载盒中低沸点有机物含量的测试方法，其特征在于，所述吸附管为填充有Tenax填料的吸附管。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110178921.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
