[发明专利]气体传感器在审
| 申请号： | 202110187406.5 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113495088A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 简志轩;骆玠錞;黄柏恺;蔡明志;何羽轩 | 申请（专利权）人： | 新唐科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王涛;任默闻 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
1.一种气体传感器，其特征在于，包括：
基板；
多数个电极，设置于所述基板上，所述多数个电极彼此相隔一第一距离，且每个所述电极具有一第一厚度；以及
至少一感测结构，介于所述多数个电极之间，且所述感测结构直接接触所述多数个电极，其中所述感测结构具有一第二厚度，且所述第二厚度为0.01倍至1.1倍的所述第一厚度。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述感测结构的所述第二厚度小于所述第一厚度。
3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述感测结构的所述第二厚度在所述第一厚度的一半以下。
4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述感测结构的所述第二厚度高于所述第一厚度。
5.根据权利要求4所述的气体传感器，其特征在于，所述感测结构部分覆盖所述多数个电极。
6.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述第一距离在1μm至1000μm之间。
7.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述至少一感测结构为多数个感测结构，且所述多数个感测结构彼此相隔一第二距离，且所述第二距离小于等于每个所述电极的宽度。
8.根据权利要求7所述的气体传感器，其特征在于，所述第二距离的变化率为±20％。
9.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述多数个电极包括指叉状电极。
10.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述基板包括印刷电路板，且所述多数个电极为所述印刷电路板的电路。
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