[发明专利]气体传感器

说明书

一种气体传感器，包括基板、数个电极以及至少一感测结构。电极设置于基板上并且彼此相隔一距离，其中每个电极具有一第一厚度。感测结构则是介于电极之间，且所述感测结构直接接触电极，其中感测结构具有一第二厚度，且第二厚度是0.01倍至1.1倍的第一厚度。

技术领域

本发明是有关于一种气体感测技术，且特别是有关于一种灵敏度佳的气体传感器。

背景技术

由于近几年科技与技术的精进，使得智能型装置普及化，而科技化后的产品则越来越趋向于三大方向，智慧化、自动化以及云端化；小如一台基本的智能型手机，内部却已经有诸多的传感器整合其中，大至一辆电动车，可将传感器的效能发挥至极致，带给人们的是全自动化驾驶的体验。

各种类型的传感器已经被应用在不同的领域中，以气体传感器为例，一般会将感测材料透过整面地涂布方式形成于电极结构上，而使电极在感测区域内完全被覆盖。

然而，目前的气体传感器在瞬态响应(transient response)虽有明显的变化率(variation)，但也存在不可忽视的误差干扰，而影响传感器的灵敏度(sensitivity)。

发明内容

本发明提供一种气体传感器，能改善气体传感器的灵敏度，并能大幅减少气体传感器上感测材料的使用量。

本发明的一种气体传感器，包括基板、数个电极以及至少一感测结构。电极设置于基板上并且彼此相隔一距离，其中每个电极具有一第一厚度。感测结构则是介于电极之间，且所述感测结构直接接触电极，其中感测结构具有一第二厚度，且第二厚度是0.01倍至1.1倍的第一厚度。

在本发明的一实施例中，上述感测结构的第二厚度小于所述第一厚度。

在本发明的一实施例中，上述感测结构的第二厚度在所述第一厚度的一半以下。

在本发明的一实施例中，上述感测结构的第二厚度高于所述第一厚度。

在本发明的一实施例中，上述感测结构部分覆盖所述数个电极。

在本发明的一实施例中，上述第一距离在1μm至1000μm之间。

在本发明的一实施例中，上述感测结构可为数个感测结构，且所述数个感测结构彼此相隔一第二距离，且第二距离小于等于每个电极的宽度。

在本发明的一实施例中，上述第二距离的变化率为±20％。

在本发明的一实施例中，上述电极包括指叉状电极。

在本发明的一实施例中，上述基板包括印刷电路板(PCB)，且上述电极为印刷电路板的电路。

基于上述，本发明通过降低感测结构中不受气体影响的区域的膜层厚度，换句话说，受气体影响的区域的膜层相对增加，使气体传感器的变化率提升，进而改善气体传感器的灵敏度。而且，由于降低膜层厚度，与传统整面覆盖式的感测材料相比，还可大幅减少感测材料的使用量。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的一种气体传感器的上视示意图。

图2A是图1的A-A’线段的一种气体传感器的剖面示意图。

图2B是图1的A-A’线段的另一种气体传感器的剖面示意图。

图3A是总变化率(total variation)对受到气体影响电性的区域的变化率的趋势图。

图3B是总变化率对受到气体影响电性的区域的变化率随厚度参数变化的趋势图。

图4是依照本发明的另一实施例的一种气体传感器的上视示意图。