[发明专利]一种自动翻面的光刻机工件夹持设备及其使用方法

权利要求书

1.一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，包括基座（1）和立柱（2），所述基座（1）的上端四角均固接有立柱（2），其特征在于：所述立柱（2）上端安装有自动复位机构（3）。

2.根据权利要求1所述的一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，其特征在于：

所述自动复位机构（3）包括底板（301）、横杆（302）和弹簧（303）；

所述底板（301）位于立柱（2）的上端，所述底板（301）的下端四角均与立柱（2）固定相连，所述底板（301）的内壁设有多个横杆（302），所述横杆（302）的左右两端均与底板（301）固定相连，所述横杆（302）的外壁外侧设有弹簧（303），所述弹簧（303）的外端与底板（301）固定相连；

所述横杆（302）的外壁设有伸缩机构（4）；

所述伸缩机构（4）包括滑筒（401）、竖杆（402）和圆筒（403）；

多个所述滑筒（401）均位于横杆（302）的外壁，所述滑筒（401）的上下两侧内壁均与横杆（302）间隙配合，所述滑筒（401）的外端上下两侧均与弹簧（303）固定相连，所述滑筒（401）的内壁设有竖杆（402），所述竖杆（402）的外壁与滑筒（401）间隙配合，所述竖杆（402）的上端设有圆筒（403），所述圆筒（403）的下端与竖杆（402）固定相连；

所述圆筒（403）的内壁设有翻转机构（5）；

所述翻转机构（5）包括圆杆（501）、夹板（502）、齿轮（503）、和齿板（504）；

多个所述圆杆（501）均位于圆筒（403）的内壁，所述圆杆（501）的外壁通过轴承与圆筒（403）转动相连，所述圆杆（501）的内端设有夹板（502），所述圆杆（501）的内端与夹板（502）固定相连，所述圆杆（501）的外端设有齿轮（503），所述圆杆（501）的外端与齿轮（503）固定相连，所述齿轮（503）的后端内侧设有齿板（504），所述齿轮（503）的后端内侧与齿板（504）啮合相连，所述齿板（504）的下端与底板（301）固定相连；

所述底板（301）的下端安装有动力机构（7）；

所述动力机构（7）包括电机（701）、联轴器（702）、转轴（703）、轴座（704）和第二锥齿轮（705）；

所述电机（701）的外壁上下两端均通过支座分别与底板（301）和基座（1）固定相连，所述电机（701）的左右两端输出轴均通过联轴器（702）与转轴（703）转动相连，所述联轴器（702）的上端与底板（301）固定相连，所述转轴（703）的外壁外侧通过轴承与轴座（704）转动相连，所述轴座（704）的上端与底板（301）固定相连，所述转轴（703）的外端设有第二锥齿轮（705），所述转轴（703）的外端与第二锥齿轮（705）固定相连，所述第二锥齿轮（705）的上端外侧与第一锥齿轮（603）啮合相连。

3.根据权利要求2所述的一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，其特征在于：所述竖杆（402）与滑筒（401）之间构成滑动结构。

4.根据权利要求4所述的一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，其特征在于：所述夹板（502）的极限翻转角度为180°。

5.根据权利要求4所述的一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，其特征在于：所述圆杆（501）的外壁设有升降机构（6）；

所述升降机构（6）包括螺纹筒（601）、螺杆（602）和第一锥齿轮（603）；

多个所述螺纹筒（601）均位于圆杆（501）的外壁，所述螺纹筒（601）的后侧内壁与圆杆（501）间隙配合，所述螺纹筒（601）的前侧内壁设有螺杆（602），所述螺杆（602）的外壁中心与螺纹筒（601）螺纹相连，所述螺杆（602）的外壁下侧通过多个轴承与底板（301）转动相连，所述螺杆（602）的下端设有第一锥齿轮（603），所述第一锥齿轮（603）的上端中心与螺杆（602）固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，其特征在于：左右两侧所述第二锥齿轮（705）和转轴（703）沿电机（701）的竖直中心左右对称。

7.一种自动翻面的光刻机工件夹持设备的使用方法，其特征在于：当需要使用此自动翻面的光刻机工件夹持设备时，首先使用者可以将左右两侧的夹板502向外侧推动，然后将待加工的工件放置于两侧夹板502的中心凹槽处，松开夹板502，两侧的弹簧303通过滑筒401和圆筒403推动两侧夹板502同时向内移动并推动工件移动至设备中心，对工件进行夹持的同时完成工件的中心定位，解决了现有技术不能对工件进行中心定位的问题，同时也解决了工件的安装拆卸较为繁琐的问题，接通外接光刻机的电源，使用光刻机对工件进行加工处理，当需要对工件进行翻面时，接通电机701的外接电源，电机701通过第一锥齿轮603和螺杆602驱动夹板502和齿轮503向上移动，齿轮503在向上移动的过程中受齿板504的阻挡转动，齿轮503转动通过圆杆501带动夹板502和工件转动翻面，当工件翻转180度后将关闭电机701的电源，完成工件翻面，进而解决了现有技术的设备不能对工件进行快速翻面的问题。