[发明专利]一种自动翻面的光刻机工件夹持设备及其使用方法

说明书

本发明公开了一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，包括基座和立柱，所述基座的上端四角均固接有立柱，所述立柱上端安装有自动复位机构，所述自动复位机构包括底板、横杆和弹簧，所述底板的内壁设有多个横杆，所述横杆的左右两端均与底板固定相连，所述横杆的外壁外侧设有弹簧，所述弹簧的外端与底板固定相连。该自动翻面的光刻机工件夹持设备，结构科学合理，使用安全方便，通过电机、第一锥齿轮、螺杆、夹板、齿轮、齿板和圆杆之间的配合，电机通过第一锥齿轮和螺杆驱动夹板和齿轮向上移动，齿轮在向上移动的过程中受齿板的阻挡转动，齿轮转动通过圆杆带动夹板和工件转动翻面，解决了现有技术的设备不能对工件进行快速翻面的问题。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种自动翻面的光刻机工件夹持设备。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片硅片上。

虽然现有技术的光刻机能够完成曝光印制的工作，但是在使用过程中仍然存在下列问题：

现有技术的设备不能对工件进行快速翻面的问题；

现有技术不能对工件进行中心定位的问题；

工件的安装拆卸较为繁琐的问题；

设备耗能过高的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，以解决上述背景技术中提出的现有技术的设备不能对工件进行快速翻面的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自动翻面的光刻机工件夹持设备，包括基座和立柱，所述基座的上端四角均固接有立柱，所述立柱上端安装有自动复位机构；

所述自动复位机构包括底板、横杆和弹簧；

所述底板位于立柱的上端，所述底板的下端四角均与立柱固定相连，所述底板的内壁设有多个横杆，所述横杆的左右两端均与底板固定相连，所述横杆的外壁外侧设有弹簧，所述弹簧的外端与底板固定相连。

优选的，所述横杆的外壁设有伸缩机构；

所述伸缩机构包括滑筒、竖杆和圆筒；

多个所述滑筒均位于横杆的外壁，所述滑筒的上下两侧内壁均与横杆间隙配合，所述滑筒的外端上下两侧均与弹簧固定相连，所述滑筒的内壁设有竖杆，所述竖杆的外壁与滑筒间隙配合，所述竖杆的上端设有圆筒，所述圆筒的下端与竖杆固定相连。

优选的，所述竖杆与滑筒之间构成滑动结构。

优选的，所述圆筒的内壁设有翻转机构；

所述翻转机构包括圆杆、夹板、齿轮、和齿板；

多个所述圆杆均位于圆筒的内壁，所述圆杆的外壁通过轴承与圆筒转动相连，所述圆杆的内端设有夹板，所述圆杆的内端与夹板固定相连，所述圆杆的外端设有齿轮，所述圆杆的外端与齿轮固定相连，所述齿轮的后端内侧设有齿板，所述齿轮的后端内侧与齿板啮合相连，所述齿板的下端与底板固定相连。

优选的，所述夹板的极限翻转角度为180°。

优选的，所述圆杆的外壁设有升降机构；

所述升降机构包括螺纹筒、螺杆和第一锥齿轮；

多个所述螺纹筒均位于圆杆的外壁，所述螺纹筒的后侧内壁与圆杆间隙配合，所述螺纹筒的前侧内壁设有螺杆，所述螺杆的外壁中心与螺纹筒螺纹相连，所述螺杆的外壁下侧通过多个轴承与底板转动相连，所述螺杆的下端设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的上端中心与螺杆固定相连。

优选的，所述底板的下端安装有动力机构；

所述动力机构包括电机、联轴器、转轴、轴座和第二锥齿轮；