[发明专利]蒸镀掩模单元的制作方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模单元的制作方法，其特征在于，包含：

形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；

将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由所述蒸镀掩模和所述保护膜夹着所述光固化性树脂膜，且所述光固化性树脂膜覆盖所述多个开口的方式配置在所述蒸镀掩模上的步骤；

隔着所述保护膜对所述光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；

去除所述保护膜的步骤；

在去除了所述保护膜之后，对所述光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；

通过使所述光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；

将具有至少一个窗的支承架以与所述蒸镀掩模接触的方式配置在所述蒸镀掩模上的步骤；和

使用镀敷法形成用于将所述支承架固定于所述蒸镀掩模的连接部的步骤。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：

所述第一曝光和所述第二曝光是隔着同一光掩模进行的。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：

所述保护膜含有聚烯烃、聚酰亚胺、聚酯、聚苯乙烯或者含氟聚烯烃。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：

所述支承架含有铁和镍。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：

所述连接部的形成是以所述连接部的厚度成为所述多个抗蚀剂掩模的厚度以下的方式进行的。

6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：

所述至少一个窗包含多个窗，

所述支承架以所述多个抗蚀剂掩模的至少一个从所述多个窗中的一个窗露出的方式配置在所述蒸镀掩模上。

7.一种蒸镀掩模单元的制作方法，其特征在于，包含：

形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；

以覆盖所述多个开口的方式将第一光固化性树脂膜配置在所述蒸镀掩模上的步骤；

将具有第二光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由所述蒸镀掩模和所述保护膜夹着所述第二光固化性树脂膜，且所述第二光固化性树脂膜覆盖所述多个开口的方式配置在所述第一光固化性树脂膜上的步骤；

隔着所述保护膜对所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；

去除所述保护膜的步骤；

在去除了所述保护膜之后，对所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；

通过使所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜显影，来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；

将具有至少一个窗的支承架以与所述蒸镀掩模接触的方式配置在所述蒸镀掩模上的步骤；和

使用镀敷法形成用于将所述支承架固定于所述蒸镀掩模的连接部的步骤。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：

所述第一曝光和所述第二曝光是隔着同一光掩模进行的。

9.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：

所述保护膜含有聚烯烃、聚酰亚胺、聚酯、聚苯乙烯或者含氟聚烯烃。

10.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：

所述支承架含有铁和镍。

11.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：

所述连接部的形成是以所述连接部的厚度成为所述多个抗蚀剂掩模的厚度以下的方式进行的。

12.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：

所述至少一个窗包含多个窗，

所述支承架以所述多个抗蚀剂掩模的至少一个从所述多个窗中的一个窗露出的方式配置在所述蒸镀掩模上。