[发明专利]蒸镀掩模单元的制作方法

说明书

本发明提供一种蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由蒸镀掩模和保护膜夹着光固化性树脂膜，且光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；隔着保护膜对光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除保护膜的步骤；在去除了保护膜之后，对光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与蒸镀掩模接触的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将支承架固定于蒸镀掩模的连接部的步骤。根据本发明，能够以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元。

技术领域

本发明的实施方式之一涉及蒸镀掩模单元的制作方法。

背景技术

作为平板型显示装置的一个例子，可举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置。这些显示装置都是包含绝缘体、半导体、导体等各种材料的薄膜被层叠在基板上而成的构造体，这些薄膜通过适当地图案化、连接，能够表现出作为显示装置的功能。

形成薄膜的方法大致分为气相法、液相法、固相法。气相法分为物理气相法和化学气相法，作为前者的代表例，已知一种蒸镀法。蒸镀法中的最简便的方法是真空蒸镀法，通过在高真空下加热材料，使材料升华或蒸发(以下将升华和蒸发统称为气化)而生成材料的蒸气，通过使该蒸气在目的区域(以下称为蒸镀区域)固化、沉积，能够得到材料的薄膜。这时，为了在蒸镀区域有选择地形成薄膜，且在其以外的区域(以下称为非蒸镀区域)不沉积材料，使用物理屏蔽非蒸镀区域的掩模(参照专利文献1、2)。该掩模被称为蒸镀掩模等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-87840号公报。

专利文献2：日本特开2013-209710号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

本发明实施方式的一个目的在于，提供一种蒸镀掩模单元的制作方法。例如，本发明实施方式的一个目的在于，提供一种用于以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元的方法。

用于解决问题的技术手段

本发明的实施方式之一是蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由蒸镀掩模和保护膜夹着光固化性树脂膜，且光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；隔着保护膜对光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除保护膜的步骤；在去除了保护膜之后，对光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与蒸镀掩模接触的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将支承架固定于蒸镀掩模的连接部的步骤。

本发明的实施方式之一是蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；以覆盖多个开口的方式将第一光固化性树脂膜配置在蒸镀掩模上的步骤；将具有第二光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由蒸镀掩模和保护膜夹着第二光固化性树脂膜，且第二光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在第一光固化性树脂膜上的步骤；隔着保护膜对第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除保护膜的步骤；在去除了保护膜之后，对第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜显影，来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与蒸镀掩模接触的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将支承架固定于蒸镀掩模的连接部的步骤。