[发明专利]陶瓷烧结方法及采用该方法制成的陶瓷件在审
申请号: | 202110198135.3 | 申请日: | 2021-02-22 |
公开(公告)号: | CN112939616A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 白玉蕾;王宏伟;符雅丽;郑友山 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | C04B35/64 | 分类号: | C04B35/64 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷 烧结 方法 采用 制成 | ||
1.一种陶瓷烧结方法,其特征在于,包括:
将陶瓷生胚放置于承烧板上;
对所述陶瓷生胚进行升温阶段烧结,且所述升温阶段包括多个升温时段,至少一个所述升温时段包括升温子时段和第一调温子时段;所述第一调温子时段的升温速率小于所述升温子时段的升温速率;
对所述陶瓷生胚进行降温阶段烧结,且所述降温阶段包括多个降温时段,至少一个所述降温时段包括降温子时段和第二调温子时段;所述第二调温子时段的降温速率小于所述降温子时段的降温速率。
2.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,至少一个所述升温时段中的所述第一调温子时段的升温速率为零。
3.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,至少一个所述降温时段中的所述第二调温子时段的降温速率为零。
4.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述升温阶段包括:
第一升温时段,所述第一升温时段的升温子时段为0~39h,升温范围为36~350℃,升温速率为0.14℃/min;所述第一升温时段的第一调温子时段为39~39.5h,且烧结温度保持不变;
第二升温时段,所述第二升温时段的升温子时段为39.5~59h,升温范围为350~500℃,升温速率为0.13℃/min;所述第二升温时段的第一调温子时段为59-59.5h,且烧结温度保持不变;
第三升温时段,所述第三升温时段的升温子时段为59.5~79h,升温范围为500~800℃,升温速率为0.26℃/min;所述第三升温时段的第一调温子时段为79-80h,且烧结温度保持不变;
第四升温时段,所述第四升温时段的升温子时段为80~103h,升温范围为800~1000℃,升温速率为0.14℃/min;所述第四升温时段的第一调温子时段为103-104h,且烧结温度保持不变;
第五升温时段,所述第五升温时段的升温子时段为104~129h,升温范围为1000~1200℃,升温速率为0.13℃/min;所述第五升温时段的第一调温子时段为129-130h,且烧结温度保持不变;
第六升温时段,所述第六升温时段的升温子时段为130~155h,升温范围为1200~1630℃,升温速率为0.28℃/min;所述第六升温时段的第一调温子时段为155-165h,且烧结温度保持不变。
5.根据权利要求4所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述降温阶段包括:
第一降温时段,所述第一降温时段的降温子时段为165~188h,降温范围为1630~1100℃,降温速率为0.38℃/min;所述第一降温时段的第二调温子时段为188~189h,且烧结温度保持不变;
第二降温时段,所述第二降温时段的降温子时段为189~214h,降温范围为1100~700℃,降温速率为0.27℃/min;所述第二降温时段的第二调温子时段为214~215h,且烧结温度保持不变;
第三降温时段,所述第三降温时段的降温子时段为215~238h,降温范围为700~500℃,降温速率为0.14℃/min;所述第三降温时段的第二调温子时段为238~239h,且烧结温度保持不变;
第四降温时段,所述第四降温时段的降温子时段为239~263h,降温范围为500~350℃,降温速率为0.10℃/min;所述第四降温时段的第二调温子时段为263~264h,且烧结温度保持不变;
第五降温时段,所述第五降温时段的降温子时段为264~288h,降温范围为350~36℃,降温速率为0.22℃/min;所述第五降温时段的第二调温子时段为288~290h,且烧结温度保持不变。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述将陶瓷生胚放置于承烧板上,具体包括:
在所述承烧板上形成匀热层;
将所述陶瓷生胚放置于所述匀热层上;
将陶瓷工装放置于所述陶瓷生胚上,所述陶瓷工装用于避免颗粒掉落在所述陶瓷生胚上。
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