[发明专利]陶瓷烧结方法及采用该方法制成的陶瓷件在审

专利信息
申请号: 202110198135.3 申请日: 2021-02-22
公开(公告)号: CN112939616A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 白玉蕾;王宏伟;符雅丽;郑友山 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: C04B35/64 分类号: C04B35/64
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;王婷
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 烧结 方法 采用 制成
【权利要求书】:

1.一种陶瓷烧结方法,其特征在于,包括:

将陶瓷生胚放置于承烧板上;

对所述陶瓷生胚进行升温阶段烧结,且所述升温阶段包括多个升温时段,至少一个所述升温时段包括升温子时段和第一调温子时段;所述第一调温子时段的升温速率小于所述升温子时段的升温速率;

对所述陶瓷生胚进行降温阶段烧结,且所述降温阶段包括多个降温时段,至少一个所述降温时段包括降温子时段和第二调温子时段;所述第二调温子时段的降温速率小于所述降温子时段的降温速率。

2.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,至少一个所述升温时段中的所述第一调温子时段的升温速率为零。

3.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,至少一个所述降温时段中的所述第二调温子时段的降温速率为零。

4.根据权利要求1所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述升温阶段包括:

第一升温时段,所述第一升温时段的升温子时段为0~39h,升温范围为36~350℃,升温速率为0.14℃/min;所述第一升温时段的第一调温子时段为39~39.5h,且烧结温度保持不变;

第二升温时段,所述第二升温时段的升温子时段为39.5~59h,升温范围为350~500℃,升温速率为0.13℃/min;所述第二升温时段的第一调温子时段为59-59.5h,且烧结温度保持不变;

第三升温时段,所述第三升温时段的升温子时段为59.5~79h,升温范围为500~800℃,升温速率为0.26℃/min;所述第三升温时段的第一调温子时段为79-80h,且烧结温度保持不变;

第四升温时段,所述第四升温时段的升温子时段为80~103h,升温范围为800~1000℃,升温速率为0.14℃/min;所述第四升温时段的第一调温子时段为103-104h,且烧结温度保持不变;

第五升温时段,所述第五升温时段的升温子时段为104~129h,升温范围为1000~1200℃,升温速率为0.13℃/min;所述第五升温时段的第一调温子时段为129-130h,且烧结温度保持不变;

第六升温时段,所述第六升温时段的升温子时段为130~155h,升温范围为1200~1630℃,升温速率为0.28℃/min;所述第六升温时段的第一调温子时段为155-165h,且烧结温度保持不变。

5.根据权利要求4所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述降温阶段包括:

第一降温时段,所述第一降温时段的降温子时段为165~188h,降温范围为1630~1100℃,降温速率为0.38℃/min;所述第一降温时段的第二调温子时段为188~189h,且烧结温度保持不变;

第二降温时段,所述第二降温时段的降温子时段为189~214h,降温范围为1100~700℃,降温速率为0.27℃/min;所述第二降温时段的第二调温子时段为214~215h,且烧结温度保持不变;

第三降温时段,所述第三降温时段的降温子时段为215~238h,降温范围为700~500℃,降温速率为0.14℃/min;所述第三降温时段的第二调温子时段为238~239h,且烧结温度保持不变;

第四降温时段,所述第四降温时段的降温子时段为239~263h,降温范围为500~350℃,降温速率为0.10℃/min;所述第四降温时段的第二调温子时段为263~264h,且烧结温度保持不变;

第五降温时段,所述第五降温时段的降温子时段为264~288h,降温范围为350~36℃,降温速率为0.22℃/min;所述第五降温时段的第二调温子时段为288~290h,且烧结温度保持不变。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的陶瓷烧结方法,其特征在于,所述将陶瓷生胚放置于承烧板上,具体包括:

在所述承烧板上形成匀热层;

将所述陶瓷生胚放置于所述匀热层上;

将陶瓷工装放置于所述陶瓷生胚上,所述陶瓷工装用于避免颗粒掉落在所述陶瓷生胚上。

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