[发明专利]杯体的清洁方法在审
| 申请号： | 202110198504.9 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113118106A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴孟学;郭芳妤;刘铠毓;吴彧群;黄招胜;陈威毅 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 韩旭;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种杯体的清洁方法，包括：
提供一杯体，邻接于一腔室内的一晶圆卡盘，该杯体配置以防止一污染物材料扩散至该腔室中；
提供一颗粒移除组件，配置以从该杯体移除该污染物材料，该杯体具有一不可触及区域，该杯体的一曲率使一线性流体通道无法触及该区域，其中该颗粒移除组件包括一可挠性排出构件，该可挠性排出构件包括：
一或多个细长管；以及
一前尖端，包括一前开口和一侧开口的至少其中一者，其中从该前开口和该侧开口中的至少一者排出一加压清洁材料；
将该可挠性排出构件定位以朝向该杯体的该不可触及区域；
通过具有一第一直径的该前开口或具有一第二直径的该侧开口排出该加压清洁材料，以从该杯体的该不可触及区域移除该污染物材料；以及
通过该可挠性排出构件冲洗该杯体的该不可触及区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110198504.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
