[发明专利]一种用于晶圆光刻的高精度对准设备

权利要求书

1.一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其结构包括固定机构(1)、转动杆(2)、控制面板(3)、对准箱(4)，所述固定机构(1)嵌固在转动杆(2)左侧，所述控制面板(3)安装于对准箱(4)正面，所述转动杆(2)右侧卡合在对准箱(4)内部，其特征在于：

所述固定机构(1)设有贴合机构(11)、伸缩杆(12)、环形块(13)，所述贴合机构(11)安装于伸缩杆(12)内侧，所述伸缩杆(12)卡合在环形块(13)内部，所述环形块(13)右侧嵌固在转动杆(2)左侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述贴合机构(11)设有阻挡结构(11a)、受力板(11b)、弹簧杆(11c)、活动结构(11d)，所述活动结构(11d)嵌固在阻挡结构(11a)左侧中间，所述阻挡结构(11a)右侧焊接在弹簧杆(11c)左侧，所述弹簧杆(11c)右侧卡合在受力板(11b)左侧，所述受力板(11b)右侧安装于伸缩杆(12)内侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述阻挡结构(11a)设有弯曲板(a1)、挤压结构(a2)、定型板(a3)，所述挤压结构(a2)安装于弯曲板(a1)左侧，所述弯曲板(a1)嵌固在定型板(a3)左侧，所述定型板(a3)右侧焊接在弹簧杆(11c)左侧。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述挤压结构(a2)设有支撑结构(a21)、支撑杆(a22)、阻挡板(a23)，所述支撑结构(a21)嵌固在阻挡板(a23)上端，所述支撑杆(a22)贴合在阻挡板(a23)内部，所述阻挡板(a23)安装于弯曲板(a1)左侧。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述支撑结构(a21)设有弧形槽(t1)、压缩板(t2)、支撑块(t3)、活动槽(t4)，所述弧形槽(t1)安装于压缩板(t2)侧面，所述支撑块(t3)位于活动槽(t4)内部，所述支撑块(t3)贴合在压缩板(t2)内侧，所述压缩板(t2)下端嵌固在阻挡板(a23)上端。

6.根据权利要求2所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述活动结构(11d)设有限位轴(w1)、摩擦结构(w2)、固定块(w3)，所述限位轴(w1)卡合在固定块(w3)右侧，所述摩擦结构(w2)安装于限位轴(w1)内部，所述固定块(w3)嵌固在阻挡结构(11a)左侧中间。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其特征在于：所述摩擦结构(w2)设有摩擦板(w21)、防撞板(w22)、摩擦块(w23)、固定轴(w24)，所述防撞板(w22)贴合在摩擦板(w21)右侧，所述固定轴(w24)卡合在防撞板(w22)内部，所述摩擦块(w23)嵌固在固定轴(w24)外侧，所述摩擦板(w21)左侧上端安装于限位轴(w1)内部。