[发明专利]一种用于晶圆光刻的高精度对准设备

说明书

本发明公开了一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其结构包括固定机构、转动杆、控制面板、对准箱，固定机构嵌固在转动杆左侧，控制面板安装于对准箱正面，转动杆右侧卡合在对准箱内部，固定时控制环形块内侧的伸缩杆对贴合机构支撑，使得晶圆侧面对挤压结构进行挤压，阻挡板左侧顶角侧面受晶圆的压缩后进行弯曲，避免晶圆与弧形槽贴合过紧，使压缩板通过弧形槽减小接触面积，增强对晶圆侧面的摩擦力，避免贴合弹力过大，防止脱落时弹力对晶圆侧面产生作用力，晶圆外侧在摩擦块右侧中进行贴合摩擦，使晶圆脱离活动结构的固定时避免产生侧面作用力，利用摩擦力代替弹力的方法进行固定，防止脱离对晶圆键合进行错位。

技术领域

本发明涉及晶圆光刻显影领域，具体涉及一种用于晶圆光刻的高精度对准设备。

背景技术

光刻机中对准设备主要作用是键合过程的对准，晶圆芯片键合时，芯片上的凸点与基板上的焊接对准，然后进行键合操作，由于对准设备的机头不能接触晶圆正反两面，并且需要快速对准，继而利用精密机械进行对位。

在对圆形晶圆芯片采用弹性较强的固定块抓取时，由于对准重合的晶圆芯片精细度较高，对准贴合过程中晶圆受上下平移力的作用贴合，对准设备移开时弹性固定槽在弹力下对晶圆外侧产生轻微的弹力，从而晶圆产生平行方向的力，导致对准后的晶圆芯片出现移动偏差的现象，造成晶圆芯片的键合精准度降低。

发明内容

本发明通过如下的技术方案来实现：一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其结构包括固定机构、转动杆、控制面板、对准箱，所述固定机构嵌固在转动杆左侧，所述控制面板安装于对准箱正面，所述转动杆右侧卡合在对准箱内部，所述固定机构设有贴合机构、伸缩杆、环形块，所述贴合机构安装于伸缩杆内侧，所述伸缩杆卡合在环形块内部，所述环形块右侧嵌固在转动杆左侧，所述贴合机构设有四个，以环形块中心轴为中心环形均匀分布。

作为本发明进一步改进，所述贴合机构设有阻挡结构、受力板、弹簧杆、活动结构，所述活动结构嵌固在阻挡结构左侧中间，所述阻挡结构右侧焊接在弹簧杆左侧，所述弹簧杆右侧卡合在受力板左侧，所述受力板右侧安装于伸缩杆内侧，所述受力板为弧形结构，所述弹簧杆的弹性系数大，具有不易压缩的特性。

作为本发明进一步改进，所述阻挡结构设有弯曲板、挤压结构、定型板，所述挤压结构安装于弯曲板左侧，所述弯曲板嵌固在定型板左侧，所述定型板右侧焊接在弹簧杆左侧，所述弯曲板为铝合金材质，具有韧性强，弯曲力大的特性，且为弧形结构，与挤压结构形成向外的开口形状。

作为本发明进一步改进，所述挤压结构设有支撑结构、支撑杆、阻挡板，所述支撑结构嵌固在阻挡板上端，所述支撑杆贴合在阻挡板内部，所述阻挡板安装于弯曲板左侧，所述阻挡板为铝合金材质，具有韧性强的特性，其中间内侧上端厚度较薄，且重点下端具有容易弯曲的效果。

作为本发明进一步改进，所述支撑结构设有弧形槽、压缩板、支撑块、活动槽，所述弧形槽安装于压缩板侧面，所述支撑块位于活动槽内部，所述支撑块贴合在压缩板内侧，所述压缩板下端嵌固在阻挡板上端，所述弧形槽为内陷的弯曲结构，所述活动槽为密封状态，所述压缩板为橡胶材质，具有表面摩擦力大的特性。

作为本发明进一步改进，所述活动结构设有限位轴、摩擦结构、固定块，所述限位轴卡合在固定块右侧，所述摩擦结构安装于限位轴内部，所述固定块嵌固在阻挡结构左侧中间，所述摩擦结构设有两个，分布在限位轴上下两侧，且摩擦结构为弯曲弧形结构，所述限位轴内部为限位弹簧。

作为本发明进一步改进，所述摩擦结构设有摩擦板、防撞板、摩擦块、固定轴，所述防撞板贴合在摩擦板右侧，所述固定轴卡合在防撞板内部，所述摩擦块嵌固在固定轴外侧，所述摩擦板左侧上端安装于限位轴内部，所述防撞板为海绵材质，具有摩擦力大的特性，所述摩擦块右侧表面设有半圆形橡胶块，具有增强摩擦力的特性。

有益效果

与现有技术相比，本发明有益效果在于：