[发明专利]MEMS麦克风及电子装置

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：

PCB板，所述PCB板具有底面、顶面及沿其环周设置侧面；以及

壳体，所述壳体设置在所述PCB板的顶面，以与所述PCB板围合形成封装腔；其中，

所述PCB板设置有进声声道，所述进声声道具有声道入口和声道出口，所述声道入口形成在所述侧面，所述声道出口形成在所述顶面并与所述封装腔连通。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括设置在所述PCB板上的MEMS芯片；所述声道出口形成在所述PCB板的位于所述MEMS芯片外侧的位置上。

3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括设置在所述PCB板上并与该PCB板电性连接的ASIC芯片，所述ASIC芯片与所述MEMS芯片连接。

4.如权利要求1至3任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括除尘结构，所述除尘结构设置在所述进声声道内，所述除尘结构覆盖所述进声声道的横截面。

5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述除尘结构为发泡材料，所述发泡材料填充于所述进声声道内。

6.如权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述发泡材料自所述进声声道的声道入口填充至其声道出口。

7.如权利要求1至4任意一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述进声声道包括：

横向通道，所述横向通道自其侧面向内延伸，所述横向通道的外端形成所述声道入口；以及

纵向通道，所述纵向通道自所述横向通道的内端向上贯穿所述顶面，所述纵向通道的上端形成所述声道出口。

8.如权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述横向通道的顶壁到其底壁之间的距离定义为D₁；所述PCB板的厚度定义为H；其中，H/3≤D₁≤H/2。

9.如权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述横向通道的顶壁到所述PCB板的顶面之间的距离定义为D₂，所述横向通道的底壁到所述PCB板的底面之间的距离定义为D₃；其中，D₂＝D₃。

10.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括：

电子装置本体；以及

如权利要求1至9任意一项所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风安装于所述电子装置本体内。