[发明专利]酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统有效
申请号: | 202110203799.4 | 申请日: | 2021-02-23 |
公开(公告)号: | CN113324399B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 张国栋;许亮;陈秀伟;高玉岐;唐怀柱 | 申请(专利权)人: | 上海先进半导体制造有限公司 |
主分类号: | F26B23/04 | 分类号: | F26B23/04;F26B25/00;F27D17/00 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 杨东明;秦晶晶 |
地址: | 200233 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 风管 残余 液体 去除 装置 方法 酸排风 系统 | ||
1.一种酸排风系统,其特征在于,所述酸排风系统包括:酸排风管道以及所述酸排风管道中残余液体的去除装置,所述酸排风管道设置在扩散炉中;
所述酸排风管道包括第一酸排风管道和第二酸排风管道;
所述第一酸排风管道包括竖直部、以及一端与所述竖直部的顶端连通的横向部;
U形管道,所述第二酸排风管道设置于所述第一酸排风管道的底端与所述U形管道的一个竖直段的顶端之间;
所述去除装置包括:
固设在所述酸排风管道上的加热部,所述加热部用于加热所述酸排风管道以使所述酸排风管道中的残余液体汽化;
其中,所述加热部覆盖所述竖直部的第一预设位置范围以及所述横向部的第二预设位置范围;
所述加热部为加热带,所述加热带通过缠绕的方式固定在所述酸排风管道上;
与所述加热部电连接的加热开关;
所述去除装置还包括:
固设在所述酸排风管道上的测温器,所述测温器与温控器电连接,所述温控器还与所述加热开关电连接;
所述测温器用于采集温度信号并将所述温度信号发送至所述温控器;
所述温控器用于根据所述温度信号控制所述加热开关断开或闭合;所述温控器具体用于:
将所述温度信号解析为对应的温度值;
在所述温度值大于第一预设温度阈值时,控制所述加热开关断开;
在所述温度值小于等于第二预设温度阈值时,控制所述加热开关闭合,其中,所述第二预设温度阈值小于所述第一预设温度阈值;
所述去除装置还包括漏电开关,所述漏电开关与所述温控器电连接;
所述漏电开关用于在发生漏电时进行断电保护。
2.如权利要求1所述的酸排风系统,其特征在于,所述横向部自与所述竖直部连通的一端为起始端向下倾斜预定角度。
3.如权利要求1所述的酸排风系统,其特征在于,所述加热部为加热包或加热环。
4.如权利要求1所述的酸排风系统,其特征在于,所述测温器包括热电偶。
5.一种酸排风管道中残余液体的去除方法,其特征在于,所述去除方法包括:
通过权利要求1-4中任一项所述的酸排风系统,去除所述酸排风管道中的残余液体。
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