[发明专利]酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统

说明书

本发明提供一种酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统，所述去除装置包括：固设在所述酸排风管道上的加热部，所述加热部用于加热所述酸排风管道以使所述酸排风管道中的残余液体汽化；所述加热部与加热开关电连接。本发明通过加热部对酸排风管道进行加热，使得酸排风管道中的残余液体汽化，从而使得汽化后的残余液体顺着酸排风管道排出，进而能够排出全部残余液体，使得酸排风管道中无残余液体，能够去除酸排风管道中残余液体。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统。

背景技术

A400常压扩散炉管的机台酸排风系统包括：酸排风管道、残余液体排放塞子、U型管和石英排气管。从U型管的底部到酸排风管道的顶端，高度为2米左右。在半导体的生产工艺中，许多菜单工艺流程中湿氧工艺时间长达255分钟，其中氢气排放5.6升/分钟,氧气排放4升/分钟，在湿氧工艺期间还需要同时使用二氯乙烯，二氯乙烯排放300毫升/分钟。在工艺温度到达1000摄氏度左右时，二氯乙烯分解成氯化氢气体，氯化氢气体与工艺残余水蒸汽混合将变成盐酸。盐酸会腐蚀酸排风管道并且回流至机台酸排风系统的U型管中,当液体在U形管中积聚过多时，工艺残余气体将无法通过酸排风管道排出，导致触发酸排风管道流量检测传感器，进而造成菜单工艺流程中止，产品报废。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中液体在U形管中积聚过多时，工艺残余气体将无法通过酸排风管道排出，导致触发酸排风管道流量检测传感器，进而造成菜单工艺流程中止，产品报废的缺陷，提供一种酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

本发明提供一种酸排风管道中残余液体的去除装置，所述去除装置包括：

固设在所述酸排风管道上的加热部，所述加热部用于加热所述酸排风管道以使所述酸排风管道中的残余液体汽化；

与所述加热部电连接的加热开关。

较佳地，所述去除装置还包括：

固设在所述酸排风管道上的测温器，所述测温器与温控器电连接，所述温控器还与所述加热开关电连接；

所述测温器用于采集温度信号并将所述温度信号发送至所述温控器；

所述温控器用于根据所述温度信号控制所述加热开关断开或闭合。

较佳地，所述温控器具体用于：

将所述温度信号解析为对应的温度值；

在所述温度值大于第一预设温度阈值时，控制所述加热开关断开；

在所述温度值小于等于第二预设温度阈值时，控制所述加热开关闭合，其中，所述第二预设温度阈值小于所述第一预设温度阈值。

较佳地，所述加热部为加热带、加热包或加热环。

较佳地，所述测温器包括热电偶。

本发明还提供一种酸排风管道中残余液体的去除方法，所述去除方法包括：

通过前述的酸排风管道中残余液体的去除装置，去除所述酸排风管道中的残余液体。

本发明还提供一种酸排风系统，包括酸排风管道，所述酸排风系统还包括：

根据前述的酸排风管道中残余液体的去除装置。

较佳地，所述酸排风管道包括第一酸排风管道和第二酸排风管道；

所述第一酸排风管道包括竖直部、以及一端与所述竖直部的顶端连通的横向部；

所述加热部覆盖所述竖直部的第一预设位置范围以及所述横向部的第二预设位置范围。