[发明专利]气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法

权利要求书

1.一种气体混合供应装置，包括：

混合系统，混合多个种类的气体并供应到储罐；

供应系统，将储存于所述储罐的供应气体供应到气体需求处；

控制部，控制所述混合系统、所述储罐及所述供应系统的驱动，

其中，所述供应系统构成为包括：储罐气体浓度分析部，测量流动于连接所述储罐与所述气体需求处的储罐气体供应线的供应气体的浓度，

所述控制部构成为通过比较由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度和预设的基准浓度范围而判断供应到所述气体需求处的供应气体是否合适。

2.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括：储罐气体供应线阀，开闭所述储罐气体供应线，

所述控制部构成为，如果由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则打开所述储罐气体供应线阀，如果由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述储罐气体供应线阀。

3.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括：储罐气体排放线，从所述储罐气体供应线分支而连接到外部；储罐气体排放线阀，开闭所述储罐气体排放线，

所述控制部构成为，如果由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则关闭所述储罐气体排放线阀，如果由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则打开所述储罐气体排放线阀。

4.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统包括：多个源气体供应线，分别供应不同的多个种类的源气体；混合部，混合从所述多个源气体供应线供应的不同的多个种类的源气体而形成所述供应气体；混合气体供应线，连接所述混合部与所述储罐。

5.根据权利要求4所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述控制部构成为如下：在由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设的基准浓度范围的情况下，计算用于使流动于所述储罐气体供应线的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，之后将所述浓度校正值应用于所述混合系统来校正通过所述混合系统供应到所述储罐的供应气体的浓度。

6.根据权利要求5所述的气体混合供应装置，其特征在于，

在所述多个源气体供应线配备有：至少一个压力调节部，分别调节所述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节所述不同的多个种类的源气体的供应流量，

所述控制部构成为如下：在由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设的基准浓度范围的情况下，通过根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部来调节在所述混合部混合的各个源气体的比率，以校正通过所述混合气体供应线供应到所述储罐的供应气体的浓度。

7.根据权利要求4所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统包括：混合气体供应线阀，开闭所述混合气体供应线；混合气体排放线，从所述混合气体供应线分支而连接到外部；混合气体排放线阀，开闭所述混合气体排放线。

8.根据权利要求7所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统还包括：混合气体浓度分析部，测量流动于所述混合气体供应线的供应气体的浓度，

所述控制部构成为如下：若由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足预设的基准浓度范围，则打开所述混合气体供应线阀并关闭所述混合气体排放线阀，若由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设的基准浓度范围，则关闭所述混合气体供应线阀并打开所述混合气体排放线阀。