[发明专利]气体供应系统

权利要求书

1.一种气体供应系统，包括：

第一气体混合供应装置和第二气体混合供应装置，包括相互对应的多个模块，并且构成为并联连接到气体需求处而分别向所述气体需求处供应混合有多种气体的供应气体；

至少一个连接管线，连接所述第一气体混合供应装置与所述第二气体混合供应装置之间，从而互补地连接所述多个模块中相互对应的模块；

控制部，对是否使所述多个模块与所述至少一个连接管线相互连接进行控制而选择性地形成所述供应气体的供应流路，

所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置分别构成为包括：混合模块，混合多种气体而进行供应；罐模块，储存从所述混合模块供应的供应气体；供应模块，将储存在所述罐模块的供应气体供应到所述气体需求处，

在所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置分别形成有：第一连接部，连接所述混合模块和所述罐模块；第二连接部，连接所述罐模块和所述供应模块；第三连接部，连接所述供应模块和所述气体需求处，

所述至少一个连接管线构成为包括第一连接管线、第二连接管线、第三连接管线中的至少一个，所述第一连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第一连接部和所述第二气体混合供应装置的第一连接部，所述第二连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第二连接部和所述第二气体混合供应装置的第二连接部，所述第三连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第三连接部和所述第二气体混合供应装置的第三连接部。

2.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，

所述控制部构成为根据所述多个模块中的每一个是否正常运行而分别选择分别包括于所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置而相互对应的一对混合模块中的一个、一对罐模块中的一个、一对供应模块中的一个而依次连接。

3.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，

所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体浓度分析部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的浓度，

所述控制部构成为通过比较由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述混合模块是否正常运行。

4.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，

所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体压力测量部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的压力，

所述控制部构成为通过比较由所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述罐模块内部的压力而判断所述混合模块是否正常运行。

5.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，

所述罐模块构成为包括测量所述罐模块内部的气体压力的罐模块压力测量部，

所述控制部构成为通过比较由所述罐模块压力测量部测量的供应气体的压力与预先设定的基准压力范围而判断所述罐模块是否正常运行。

6.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，

所述供应模块构成为包括：罐气体供应管线，使储存在所述罐模块的供应气体向所述气体需求处流动；罐气体浓度分析部，测量在所述罐气体供应管线中流动的供应气体的浓度，

所述控制部构成为比较由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述供应模块是否正常运行。

7.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，

配备有分别开闭所述至少一个连接管线的至少一个连接管线阀，

所述控制部构成为通过控制所述至少一个连接管线阀的驱动而控制是否连通所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置。