[发明专利]太阳能电池的检查装置在审
| 申请号： | 202110212873.9 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113311005A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 堀井良吾 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;敖莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 检查 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池的检查装置，
其具备检测部，所述检测部检测与形成于被检查物的分割槽有关的缺陷，
所述检测部包括：
投光部，其向所述被检查物投射检查光；以及
受光元件，其接收透过所述被检查物的检查光。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
所述被检查物包括多个所述分割槽，
所述检测部包括多个所述受光元件，
多个所述受光元件设置为一个所述受光元件与一个所述分割槽对应。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
多个所述受光元件构成沿着多个所述分割槽排列的方向的多个列，
沿着所述分割槽的方向上的所述多个列的位置不同。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
还具备容纳所述受光元件的容纳部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
所述检测部包括抑制干扰光向所述受光元件入射的遮光部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
还具备根据所述受光元件的输出电压检测所述缺陷的解析部。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的太阳能电池的检查装置，其特征在于，
还具备使所述被检查物相对于所述检测部相对地移动的移送部。
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