[发明专利]太阳能电池的检查装置

说明书

本发明提供一种能够容易地实施与分割槽有关的缺陷的检查的检查装置。检查装置(100)具备检测部(200)，该检测部(200)检测与形成于被检查物的分割槽有关的缺陷。检测部(200)包括：投光部(310)，其向被检查物投射检查光；以及受光元件(410)，其接收透过被检查物的检查光。

技术领域

本发明涉及一种太阳能电池的检查装置。

背景技术

太阳能电池中有包含缺陷的情况。缺陷例如是与在构成太阳能电池的层中形成的分割槽有关的缺陷。与分割槽有关的缺陷例如包括伴随用于形成分割槽的划线加工而形成的贯通部等。太阳能电池的检查装置检测被检查物的缺陷。作为检查装置，例如已知有利用线扫描摄像机拍摄被检查物的装置。在专利文献1中记载了现有的检查装置的一例。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5885477号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

在使用线扫描摄像机的检查装置中，需要设定线扫描摄像机进行适当摄影的各种摄影条件。

本发明的目的在于提供一种能够容易地实施与分割槽有关的缺陷的检查的太阳能电池的检查装置。

(二)技术方案

本发明的太阳能电池的检查装置具备检测部，所述检测部检测与形成于被检查物的分割槽有关的缺陷，所述检测部包括：投光部，其向所述被检查物投射检查光；以及受光元件，其接收透过所述被检查物的检查光。

根据上述检查装置，能够省略使用线扫描摄像机时的摄影条件的设定，并能够容易地实施与分割槽有关的缺陷的检查。

在所述检查装置的一例中，所述被检查物包括多个所述分割槽，所述检测部包括多个所述受光元件，所述多个受光元件设置为一个所述受光元件与一个所述分割槽对应。

根据上述检查装置，与一个分割槽有关的缺陷由一个受光元件检测，因此与各个分割槽有关的缺陷的检测精度不易发生偏差。

在所述检查装置的一例中，所述多个受光元件构成沿着所述多个分割槽排列的方向的多个列，沿着所述分割槽的方向上的所述多个列的位置不同。

根据上述检查装置，能够扩大在多个分割槽排列的方向上相邻的受光元件的间隔。

在所述检查装置的一例中，还具备容纳所述受光元件的容纳部。

根据上述检查装置，受光元件受到保护。

在所述检查装置的一例中，所述检测部包括抑制干扰光向所述受光元件入射的遮光部。

根据上述检查装置，与分割槽有关的缺陷的检测精度提高。

在所述检查装置的一例中，还具备根据所述受光元件的输出电压检测所述缺陷的解析部。

根据上述检查装置，能够适当地检测与分割槽有关的缺陷。

在所述检查装置的一例中，还具备使所述被检查物相对于所述检测部相对地移动的移送部。

根据上述检查装置，能够对分割槽的整体适当地检测与分割槽有关的缺陷。

(三)有益效果

根据本发明的太阳能电池的检查装置，能够容易地实施与分割槽有关的缺陷的检查。

附图说明

图1是太阳能电池的剖面图。

图2是关于太阳能电池的制造工序的图(1)。

图3是关于太阳能电池的制造工序的图(2)。

图4是关于太阳能电池的制造工序的图(3)。

图5是关于太阳能电池的制造工序的图(4)。