[发明专利]二胺化合物,由其制备的树脂、感光性树脂组合物及用途在审
申请号: | 202110214730.1 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN114967324A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 韩红彦;刘永祥;王旭;刘嵩 | 申请(专利权)人: | 北京鼎材科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C07C231/12;C07C235/16;C07C235/24;C07F7/08 |
代理公司: | 北京孚睿湾知识产权代理事务所(普通合伙) 11474 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化合物 制备 树脂 感光性 组合 用途 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含碱溶性树脂和光产酸剂,其中,所述碱溶性树脂由二胺化合物与二羧酸酐、二羧酸、羧酸酯、二酰卤化合物中的一种或两种经缩聚得到。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述二胺化合物具有式(1)所示的结构:
T1-S-F-S-T2 (1)
式(1)中,F具有式(1-1)所示的结构,S具有式(1-2)所示的结构,T1、T2具有式(1-3)所示的结构,T1和T2可以相同或不同,
式(1-1)~(1-3)中,A选自二价的脂肪族基团、脂环式基团、芳香族基团、通过单键连接两个以上上述基团而得的二价基团中的一种,R1和R2各自独立的为氢、卤素、羟基、硝基、氰基、脂肪族基团、芳香族基团、羧基、酰胺基中的一种,q为1至3的整数,k为1至3的整数,m为1至3的整数;R3为二价的柔性链基团,n为1至4的整数,R4具有式(2)所示的结构,
式(2)中,R5选自氢、卤素、羟基、硝基、氰基、脂肪族基团、芳香族基团、羧基、酯基、酰胺基中的一种,p为0至4的整数,i为0至8的整数。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述p为1至4的整数。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述感光性树脂组合物还包括热产碱剂和/或光产碱剂。
5.根据权利要求4所述感光性树脂组合物,其特征在于,所述光产碱剂的最佳紫外吸收波段为200nm~450nm,所述热产碱剂的热分解开始温度为90℃~250℃。
6.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中,所述二胺化合物满足以下条件中的至少一个:
F与S相连的位点和A与苯环相连的位点为间位关系;
式(1-1)中,A与各苯环相连的位点的对位为羟基;
式(1-3)中,R4与R3相连的位点和R4与氨基相连的位点为间位或对位关系。
7.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其中,所述二胺化合物满足以下条件中的至少一个:
式(1-3)中,R4与R3相连的位点和R4与氨基相连的位点为对位关系;
A为-O-、-S-、-C(CH3)2-、-C(CH3)(C2H5)-、-S(=O)2-、-C(CF3)2-或-C(C6H4OH)-;
R1为氢;
R2为氢;
R3为亚烷基、亚烷基氧基、或亚硅烷基氧基;
R5为氢;
q为1;
p为1或2;
i为0或1;
n为1。
8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述二胺化合物具有以下结构中的一种:
其中,h和j各自独立地表示0~50的整数,优选各自独立地表示2~20的整数。
9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述碱溶性树脂的分子量为2000~100000,优选为5000~50000。
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