[发明专利]光调制器及其制造方法

权利要求书

1.一种光调制器，其中光信号从封装的一侧输入，所述光调制器包括：

在所述封装中，

对所述光信号进行光调制的芯片，在所述芯片中所述光信号的输入波导和输出波导被引导到彼此不同的目的地，所述目的地分别是所述芯片的面向所述封装的所述一侧的一端和所述芯片的与所述芯片的所述一端正交的侧表面；

耦合到所述芯片的输入波导的输入光学系统；以及

耦合到所述芯片的输出波导的输出光学系统。

2.根据权利要求1所述的光调制器，其中

被引导到所述芯片的所述侧表面的所述输入波导或所述输出波导沿与所述侧表面正交的方向中途弯曲。

3.根据权利要求1所述的光调制器，所述光调制器还包括：

设置在所述芯片中的固定装置，所述固定装置覆盖所述芯片的形成所述输入波导和所述输出波导的区域。

4.根据权利要求1所述的光调制器，其中

所述输入波导被引导到所述芯片的所述一端，并且所述输出波导被引导到所述芯片的所述侧表面，

所述输入光学系统设置在所述封装的所述一侧和所述芯片的所述一端之间，并且

所述输出光学系统设置在偏向所述封装的所述侧表面的位置。

5.根据权利要求4所述的光调制器，其中

所述输入波导具有单个波导，并且所述输出波导包括对应于不同偏振的两个波导，并且

所述输出光学系统包括将光路改变到正交方向的光路改变元件、偏振旋转元件和偏振耦合元件。

6.根据权利要求5所述的光调制器，其中

所述输入光学系统的所述光路改变元件和所述偏振耦合元件由单个部件形成。

7.根据权利要求5所述的光调制器，其中

所述输出光学系统具有对应于所述两个波导的两个透镜的阵列。

8.根据权利要求5所述的光调制器，其中

所述输入光学系统具有单个透镜，所述单个透镜具有第一焦距的输入侧和第二焦距的输出侧。

9.根据权利要求5所述的光调制器，其中

所述输入光学系统被配置为具有直接接合到所述芯片的所述输入波导的光纤。

10.根据权利要求1所述的光调制器，其中

所述输出波导被引导到所述芯片的所述一端并且所述输入波导被引导到所述芯片的所述侧表面，

所述输出光学系统设置在所述封装的所述一侧和所述芯片的所述一端之间，并且

所述输入光学系统设置在偏向所述封装的所述侧表面的位置。

11.根据权利要求10所述的光调制器，其中

所述输入波导具有单个波导，所述输出波导包括对应于不同偏振的两个波导，

所述输入光学系统包括将光路改变到正交方向的光路改变元件，并且

所述输出光学系统包括偏振旋转元件和偏振耦合元件。

12.根据权利要求11所述的光调制器，其中

所述输出光学系统具有对应于所述两个波导的两个透镜的阵列。

13.根据权利要求11所述的光调制器，其中

所述输入光学系统的所述光路改变元件和透镜由单个部件形成。

14.根据权利要求11所述的光调制器，其中

所述输入光学系统被配置为具有直接接合到所述光路改变元件的光纤，并且所述光路改变元件直接接合到所述芯片的所述输入波导。

15.根据权利要求1所述的光调制器，其中

所述芯片包含铌酸锂。