[发明专利]晶圆运输防撞系统及晶圆运输防撞方法

权利要求书

1.一种晶圆运输防撞系统，其特征在于，包括：

运输装置，所述运输装置包括轨道和以可滑动的方式设置在所述轨道上的天车；

监测装置，所述监测装置安装在所述天车上，所述监测装置用于监测所述天车周围多个方向的障碍物；

控制装置，所述控制装置与所述监测装置和所述天车分别通信连接，所述控制装置用于根据所述监测装置传递的信号控制所述天车的运行。

2.根据权利要求1所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述监测装置设置成监测所述天车与所述障碍物之间的实际距离，所述控制装置设置成根据所述实际距离与预设距离的差值控制所述天车运行、减速或停车。

3.根据权利要求1所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述监测装置用于监测所述天车的前方、后方、上方和下方的障碍物。

4.根据权利要求3所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述监测装置包括至少四个监测器，四个所述监测器分别安装所述天车的前侧、后侧、顶部和底部。

5.根据权利要求4所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，四个所述监测器分别与所述控制装置通信连接。

6.根据权利要求4所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述监测器设置为视觉相机。

7.根据权利要求6所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述视觉相机的水平方向的视野率大于或等于120°；所述视觉相机的竖直方向的视野率大于或等于120°。

8.根据权利要求1所述的晶圆运输防撞系统，其特征在于，所述天车的数量设置有多个，所述控制装置的数量与所述天车的数量相等，所述晶圆运输防撞系统还包括总控制器，多个所述控制装置分别与所述总控制器通信连接。

9.一种晶圆运输防撞方法，利用根据权利要求1至8任一项所述的晶圆运输防撞系统实施，其特征在于，包括：

监测装置对天车周围的障碍物进行监测，并测得所述障碍物与所述天车之间的实际距离L；

所述监测装置将所述实际距离L传递给控制装置，所述控制装置将所述实际距离L与设定距离进行比较，根据所述实际距离L与所述设定距离的差值控制所述天车的运行。

10.根据权利要求9所述的晶圆运输防撞方法，其特征在于，所述根据所述实际距离L与所述设定距离的差值控制所述天车的运行包括：

所述设定距离为100mm，当所述实际距离L小于所述设定距离时，所述控制装置控制所述天车停车；当所述实际距离L大于所述设定距离且与所述设定距离之间的差值小于100mm时，所述控制装置控制所述天车减速。