[发明专利]晶圆运输防撞系统及晶圆运输防撞方法

说明书

本申请公开了一种晶圆运输防撞系统及晶圆运输防撞方法，该晶圆运输防撞系统包括运输装置，监测装置和控制装置，运输装置包括轨道和以可滑动的方式设置在轨道上的天车；监测装置安装在天车上，监测装置用于监测天车周围多个方向的障碍物；控制装置与监测装置和天车分别通信连接，控制装置用于根据监测装置传递的信号控制天车的运行；本申请提出的晶圆运输防撞系统通过在天车上设置监测多个方向的障碍物的监测装置，提高了天车移动时的安全性，防止天车与障碍物碰撞，降低或消除了晶圆运输过程中存在的安全隐患。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆运输防撞系统及晶圆运输防撞方法。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

在半导体行业中，通常需要在各腔室之间或工位之间转移晶圆，为了避免晶圆被污染或损坏，需要将晶圆放置在晶圆盒中，通过传送晶圆盒，实现对晶圆的转移。其中，高架提升传输(OHT)(overhead hoist transfer)机构是实现晶圆盒转移的常用方式，高架提升传输机构能够带动晶圆盒在不同工位之间转移，高架提升传输通常包括轨道、天车和夹取装置，天车沿轨道移动，在移动过程中，当天车的移动范围内出现障碍物时，可能会与天车发生碰撞，例如，当新设备入厂时，在进行对接的过程中，容易对天车造成干扰发生碰撞；当工作人员对设备进行维护和保养时，工作人员以及工作人员作业使用的梯子容易与天车发生碰撞，存在较大的安全隐患。

现有技术中，天车通常在前侧安装有感应装置，用于在移动过程中感应前方的障碍物，但安装在前侧的感应装置能够感应的范围较小，当天车的运行前方靠下或靠上的位置存在障碍物时，感应装置无法感知，容易造成天车与障碍物碰撞，不仅影响运输进程，设置可能造成安全事故。

发明内容

本申请的第一方面提出了一种晶圆运输防撞系统，所述晶圆运输防撞系统包括：

运输装置，所述运输装置包括轨道和以可滑动的方式设置在所述轨道上的天车；

监测装置，所述监测装置安装在所述天车上，所述监测装置用于监测所述天车周围多个方向的障碍物；

控制装置，所述控制装置与所述监测装置和所述天车分别通信连接，所述控制装置用于根据所述监测装置传递的信号控制所述天车的运行。

本申请提出的晶圆运输防撞系统通过在天车上设置监测多个方向的障碍物的监测装置，提高了天车移动时的安全性，防止天车与障碍物碰撞，降低或消除了晶圆运输过程中存在的安全隐患。

本申请的第二方面提出了一种晶圆运输防撞方法，所述晶圆运输防撞方法利用如上所述的晶圆运输防撞系统实施，包括：

监测装置对天车周围的障碍物进行监测，并测得所述障碍物与所述天车之间的实际距离L；

所述监测装置将所述实际距离L传递给控制装置，所述控制装置将所述实际距离L与设定距离进行比较，根据所述实际距离L与所述设定距离的差值控制所述天车的运行。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中：

图1为本申请实施方式的晶圆运输防撞系统的结构框图；

图2为本申请实施方式的晶圆运输防撞系统的部分结构示意图；

图3为本申请实施方式的晶圆运输防撞方法的流程图。

附图标记如下：

100、晶圆运输防撞系统；

10、运输装置；11、轨道；12、天车；