[发明专利]一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法

说明书

本发明公开了一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法，具有：表面处理模块，能够向基板发射等离子流；赋电模块，能够对基板上的杂质颗粒附加电荷；磁场模块，能够对基板上的带电杂质颗粒施加电磁力；输送机构，能够使基板在表面处理模块、赋电模块、磁场模块内输送；基板能够在赋电模块和磁场模块之间往复运动，减少基板表面杂质颗粒，提高产品良品率，同时，在基板表面赋予电荷的同时，可以减小其表面能，使得后续界面接触更加紧密。

技术领域

本发明属于Micro OLED显示领域，尤其涉及一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法。

背景技术

随着科技的进步与科技的发展，人们在追求显示效果的体验上也有着更高的需求，加之穿戴配套显示设备使其物理意义上的方法路径可行，5G时代的到来会解决数据量传输的问题，因此近年来Micro OLED(Organic Light Emitting Display)被称为下一代显示技术的黑马，现已广泛应用于机戴头盔、枪瞄、夜视仪等军用市场，并且随着AR/VR以及自动驾驶等新技术的应用，Micro OLED微显示器将迎来爆发式的增长。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：由于MicroOLED子像素及线宽线距非常小(0.1～0.8um)，对Particle(杂质颗粒)的管控非常严格，极小的Particle就会带来不良，损失良率。而在正常生产过程中，环境或者传送Particle基本占有80％，因此，如何管控环境或者传送particle至关重要。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种减少基板表面杂质颗粒，提高产品良品率，同时，在基板表面赋予电荷的同时，可以减小其表面能，使得后续界面接触更加紧密的Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置及处理方法。

为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置，具有：

表面处理模块，能够向基板发射等离子流；

赋电模块，能够对基板上的杂质颗粒附加电荷；

磁场模块，能够对基板上的带电杂质颗粒施加电磁力；

输送机构，能够使基板在所述表面处理模块、赋电模块、磁场模块内输送；所述基板能够在所述赋电模块和磁场模块之间往复运动。

所述表面处理模块为等离子腔，所述等离子腔内能够朝向所述基板发射等离子流。

所述赋电模块为电场腔，所述磁场模块为磁场腔。

所述磁场腔内还设有杂质颗粒收集模块。

所述等离子腔和电场腔之间还设有真空过渡腔，由于等离子腔在工作时真空度约为10-2Pa，而电场腔在工作时真空度约为10-6Pa，二者之间有真空度差异，因此，需要设置真空过渡腔。

所述等离子腔的前端和磁场腔的后端还设有传送腔，所述传送腔内设有具有传片功能的机械手。

所述磁场腔与后端的传送腔之间还设有真空过渡腔，由于磁场腔在工作时真空度约为10-6Pa，而传送腔在工作时真空度约为10-2Pa，二者之间有真空度差异，因此，需要设置真空过渡腔。

前端的传送腔上设有上料口，后端的传送腔上设有出料口。

相邻腔室之间均通过阀门连接。

一种上述的Micro OLED去除杂质颗粒的基板前处理装置的处理方法，包括如下步骤：

1)用等离子流轰击基板表面杂质颗，使杂质颗失去电中性变为带上正/负电荷；

2)通过电场腔进一步给带有正/负电荷的杂质颗粒赋予能量；