[发明专利]泄漏检查装置以及泄漏检查方法

权利要求书

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，包括：

检查机构，被配置为实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是通过加压气体对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于所述第一被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是在所述第一检查工序结束后通过加压气体对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第二被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；

第一预压路，被配置为通过加压气体对所述第二被检查室内进行预压；

第一预压阀，被配置为对所述第一预压路进行开闭；以及

控制装置，被配置为对所述检查机构和所述第一预压阀进行控制，

其中，所述控制装置在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序。

2.根据权利要求1的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一检查工序包括：第一加压工序，对所述第一被检查室内和所述基准室内进行加压；第一平衡工序，在所述第一加压工序结束后使所述第一被检查室内的压力和所述基准室内的压力平衡；以及第一计测工序，在所述第一平衡工序结束后计测所述第一被检查室内和所述基准室内的压差，

所述控制装置在所述第一加压工序和所述第一计测工序中的至少任一个的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

3.根据权利要求2的泄漏检查装置，其特征在于，

所述控制装置在所述第一加压工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

4.根据权利要求1至3中任一项的泄漏检查装置，其特征在于，

所述检查机构包括：

供给路，连接于加压气体的供给源；

基准路，连接于所述供给路和所述基准室；

共同检查路，连接于所述供给路；

第一检查路，连接于所述共同检查路和所述第一被检查室；

第二检查路，连接于所述共同检查路和所述第二被检查室；

供给阀、基准阀、共同检查阀、第一检查阀以及第二检查阀，其中，所述供给阀对所述供给路进行开闭，所述基准阀对所述基准路进行开闭，所述共同检查阀对所述共同检查路进行开闭，所述第一检查阀对所述第一检查路进行开闭，所述第二检查阀对所述第二检查路进行开闭；以及

计测部，计测所述基准路内与比所述共同检查阀靠下游侧的所述共同检查路内的压差，

所述控制装置对所述供给阀、所述基准阀、所述共同检查阀、所述第一检查阀以及所述第二检查阀进行控制来实施所述第一检查工序和所述第二检查工序。

5.根据权利要求4的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路连接于所述供给路，使得从所述供给源被供给加压气体。

6.根据权利要求4或5的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路在比所述第二检查阀靠下游侧连接于所述第二检查路。

7.根据权利要求4或5的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路未连接于所述第二检查路而是连接于所述第二被检查室。

8.根据权利要求4至7中任一项的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第二检查工序包括对所述第二被检查室内和所述基准室内进行加压的第二加压工序，

在所述第二加压工序中，所述控制装置打开所述供给阀、所述基准阀以及所述共同检查阀并关闭所述第一检查阀和所述第二检查阀来开始所述基准室内的加压，然后打开所述第二检查阀来对所述第二被检查室内进行加压。