[发明专利]泄漏检查装置以及泄漏检查方法

说明书

本发明涉及泄漏检查装置以及泄漏检查方法。本发明的泄漏检查装置具备：检查机构，实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；第一预压阀，对第一预压路进行开闭；以及控制装置，在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序。

技术领域

本发明涉及泄漏检查装置以及泄漏检查方法。

背景技术

已知检查多个被检查室的压力泄漏的泄漏检查装置。例如在日本特开2000－205991的技术中，同时对第一被检查室内和第二被检查室内以及基准室内进行加压，基于第一被检查室内和基准室内的压差来检查第一被检查室的压力泄漏，接着基于第二被检查室内和基准室内的压差来检查第二被检查室的压力泄漏。

在日本特开2000－205991的技术中，第一被检查室与第二被检查室经由共同的通路彼此连接。计测该共同的通路内与连接于基准室的通路内的压差作为第一被检查室内和基准室内的压差来检查第一被检查室的压力泄漏，之后计测该共同的通路内与连接于基准室的通路内的压差作为第二被检查室内和基准室内的压差来检查第二被检查室的压力泄漏。例如当第一被检查室有压力泄漏时，第一被检查室内的压力会降低，并且上述的共同的通路内的压力也会降低，在第一被检查室内没有压力泄漏的情况下，第一被检查室内的压力和共同的通路内的压力不会降低。此外，根据第一被检查室的压力泄漏的程度，共同的通路内的压力也会变动。因此，根据第一被检查室的压力泄漏的有无、程度，在第二被检查室的检查开始时的共同的通路内的压力会不同。其结果是，第二被检查室的检查精度可能会降低。

例如，可以想到在对第一被检查室和基准室进行加压来检查第一被检查室之后，对第二被检查室和基准室进行加压来检查第二被检查室。然而，在该情况下，当按顺序对第一被检查室和第二被检查室进行加压时，直到这些被检查室的检查完成为止需要时间。

发明内容

本发明提供一种能在短时间内高精度地检查多个被检查室的压力泄漏的泄漏检查装置以及泄漏检查方法。

本发明的第一方案的泄漏检查装置包括：检查机构，被配置为实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是通过加压气体对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于所述第一被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是在所述第一检查工序结束后通过加压气体对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第二被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；第一预压路，被配置为通过加压气体对所述第二被检查室内进行预压；第一预压阀，被配置为对所述第一预压路进行开闭；以及控制装置，被配置为对所述检查机构和所述第一预压阀进行控制，所述控制装置在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一检查工序包括：第一加压工序，对所述第一被检查室内和所述基准室内进行加压；第一平衡工序，在所述第一加压工序结束后使所述第一被检查室内的压力和所述基准室内的压力平衡；以及第一计测工序，在所述第一平衡工序结束后计测所述第一被检查室内和所述基准室内的压差，所述控制装置在所述第一加压工序和所述第一计测工序中的至少任一个的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

在上述第一方案中，也可以是，所述控制装置在所述第一加压工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。