[发明专利]一种显示器基板生产用化学抛光机及其抛光方法

权利要求书

1.一种显示器基板生产用化学抛光机，包括机体（1），机体（1）的顶部固定安装有顶架（2），机体（1）的顶部开设有抛光槽（101），机体（1）内部位于抛光槽（101）底部位置固定安装有电机（3），电机（3）的顶部输出端固定连接有抛光盘（4），抛光盘（4）的顶部固定安装有抛光垫（5），顶架（2）位于抛光槽（101）顶部位置的底面固定安装有抛光头（6），抛光头（6）底面的中部活动安装有夹具（7），其特征在于：所述抛光盘（4）内部的底部开设有呈十字型连通的进液管腔（401），所述抛光垫（5）的中部开设有与进液管腔（401）中心连通的柱槽（8），所述柱槽（8）内部活动套接有压盖（9），所述压盖（9）的底部外圈与进液管腔（401）内壁之间固定连接有第一复位弹簧（11），所述抛光槽（101）内侧底壁处呈十字分布固定安装有凸块（12），所述抛光盘（4）顶部外圈活动安装有轴承（15），所述轴承（15）外圈与抛光槽（101）内壁之间固定安装有过滤网（10），所述进液管腔（401）管段中部固定安装有单向阀（14），所述进液管腔（401）的外端口活动套接有滑块（13），所述滑块（13）与单向阀（14）之间固定连接有第二复位弹簧（16），所述抛光头（6）内部位于夹具（7）周围位置开设有导液孔（601），所述抛光头（6）的底部内壁均匀开设有通液口（602）；

所述抛光盘（4）内部的中部均匀间隔开设有磁环槽（402），所述磁环槽（402）的顶部活动套接有环形磁铁（17），所述环形磁铁（17）的底部固定安装有斜面块（18），所述磁环槽（402）靠近圆心的一侧均匀间隔安装有顶块（19），所述顶块（19）靠近圆心侧的内部与磁环槽（402）内壁之间固定连接有限位弹簧（20），所述抛光头（6）底端的内部开设有环形的调节腔（603），所述调节腔（603）的内部均匀活动套接有条形磁铁（21），所述条形磁铁（21）的顶部固定连接有拉丝（22），所述环形磁铁（17）对顶部产生的磁力大小相同且各个环形磁铁（17）的重量相同，所述环形磁铁（17）的顶部磁极与条形磁铁（21）的底部磁极相同，所述环形磁铁（17）的宽度之和等于抛光头（6）底端的直径，且抛光头（6）处于环形磁铁（17）正上方且与其保持平行。

2.根据权利要求1所述的一种显示器基板生产用化学抛光机，其特征在于：所述滑块（13）的截面呈L状，所述滑块（13）的外端大小与进液管腔（401）相适配，所述滑块（13）与凸块（12）顶到最大位置时，滑块（13）将进液管腔（401）完全堵住。

3.根据权利要求1所述的一种显示器基板生产用化学抛光机，其特征在于：所述抛光头（6）的外侧连通有抛光液管且抛光液管连通至导液孔（601），所述导液孔（601）的底部开设有滴液口。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的一种显示器基板生产用化学抛光机的抛光方法，其特征在于：操作步骤如下：

S1、将基板固定好在夹具（7）上并接通抛光液与抛光头的输送管道，启动开关通过电机（3）带动抛光盘（4）转动；

S2、基板与抛光垫（5）接触抛光，导液孔不断的滴落抛光液，甩出去的抛光液流过滤网（10）进入到抛光槽（101）底部；

S3、抛光盘（4）转动凸块（12）抵压滑块（13）将抛光液从柱槽（8）的顶部挤压溢出并被甩到抛光头（6）底部再次利用。