[发明专利]芯片刻蚀装置

权利要求书

1.一种芯片刻蚀装置，用于刻蚀由芯片夹(3)夹持的芯片(6)，芯片(6)的刻蚀面上贴附有掩膜(7)，其特征在于，所述芯片刻蚀装置包括：

具有开口端的箱体(1)，所述箱体(1)的开口端封盖有箱盖(4)；

隔板(2)，将所述箱体(1)分隔成用于盛放刻蚀液的刻蚀箱(11)和用于盛放芯片清洗液的清洗箱(12)；

所述刻蚀箱(11)和所述清洗箱(12)内分别安装有升降机构(5)，每一所述升降机构(5)包括导向柱(51)和承托组件(52)，所述导向柱(51)竖直安装，所述承托组件(52)活动安装在所述导向柱(51)上且能够沿所述导向柱(51)的延伸方向移动，所述承托组件(52)用于安放所述芯片夹(3)；在刻蚀状态中，所述刻蚀箱(11)内的承托组件(52)能够携带所述芯片夹(3)浸入所述刻蚀液或浮出所述刻蚀液至推料位置，在清洗状态下，所述清洗箱(12)内的承托组件(52)能够携带所述芯片夹(3)浸入所述芯片清洗液或浮出所述芯片清洗液至接料位置；

所述刻蚀箱(11)和所述清洗箱(12)的箱盖上均安装有第一驱动装置(14)，所述第一驱动装置(14)通过驱动轴与对应的承托组件(52)连接，用于驱动所述承托组件(52)沿对应的导向柱(51)的延伸方向移动，其中，所述承托组件(52)携带所述芯片浸入所述刻蚀液或所述芯片清洗液后，第一驱动装置(14)可驱动承托组件(52)沿对应的导向柱(51)的延伸方向往复运动；

推料机构(8)，包括滑动安装在所述箱体(1)内壁的推杆(81)，在所述承托组件(52)携带所述芯片夹(3)浮出刻蚀液至推料位置时，通过驱动所述推杆(81)能够推动所述芯片夹(3)至所述清洗箱(12)内的承托组件(52)上；

所述芯片刻蚀装置还包括安装在所述刻蚀箱(11)的开口端端口和所述清洗箱(12)的开口端端口的限位环(9)，用于将对应的承托组件(52)在上升过程中限定在所述推料位置或所述接料位置。

2.根据权利要求1所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述承托组件(52)包括承托座(520)、承托板(521)、承托环(522)和弹性件(523)，所述承托座(520)活动安装在所述导向柱(51)上，所述承托板(521)安装在所述承托座(520)上，所述承托板(521)具有凸起部(5210)，所述承托环(522)套接在所述承托板(521)的凸起部(5210)上，所述弹性件(523)安装在所述承托板(521)与所述承托环(522)之间，所述弹性件(523)具有推动所述承托环(522)凸出于所述凸起部(5210)的端面的伸长状态和拉动所述承托环(522)与所述凸起部(5210)的端面齐平的压缩状态。

3.根据权利要求2所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述承托板(521)上设置有多个通孔。

4.根据权利要求1所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述推料机构(8)还包括安装在所述箱体(1)外侧壁上的第二驱动装置(83)和驱动齿轮(82)，所述推杆(81)为与所述驱动齿轮(82)啮合的齿条结构，通过所述第二驱动装置(83)驱动所述驱动齿轮(82)转动能够带动所述推杆(81)推动所述芯片夹(3)到所述清洗箱(12)的承托组件(52)上。

5.根据权利要求4所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述芯片刻蚀装置还包括推杆安装板件(13)，所述推杆安装板件(13)上开设有安装槽，所述推杆安装板件(13)固定安装在所述箱体(1)的内侧壁上，所述推杆(81)滑动安装在所述安装槽内。

6.根据权利要求4所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述推杆(81)具有头部(810)和杆部(811)，所述头部(810)和所述杆部(811)呈L型设置，所述头部(810)用于推动所述芯片夹(3)，所述杆部(811)与所述驱动齿轮(82)啮合。

7.根据权利要求1所述的芯片刻蚀装置，其特征在于，所述芯片刻蚀装置还包括安装在所述刻蚀箱(11)内的加热器(17)，用于加热所述刻蚀箱(11)内的刻蚀液。