[发明专利]一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备

权利要求书

1.一种分段式气浮平台，其特征在于：所述气浮平台(3200)包括从前往后依次设置的搬运段气浮组件(3210)、过渡段气浮组件(3220)和精密段气浮组件(3230)三段，其中，三段气浮组件的安装平面度关系为三段气浮组件的上浮高度H_f为：H_f搬运＝150μm～250μm，H_f过渡＝100μm～200μm，H_f精密＝30μm～70μm；三段气浮组件的上浮平面度绝对值关系为

其中，所述搬运段气浮组件(3210)包括搬运气浮底座(3211)、搬运立板(3212)、搬运气浮室(3213)以及位于搬运气浮室(3213)底面的搬运气接头(3214)；垂直于物料运输方向的搬运段两端分别设置一个带滑槽的搬运气浮底座(3211)，搬运立板(3212)的底部位置可调的连接在所述搬运气浮底座(3211)上，搬运气浮室(3213)的底面两端可拆卸的连接至两个搬运立板(3212)的顶部，在搬运气浮室(3213)的顶板上开设搬运气浮孔；

所述过渡段气浮组件(3220)包括过渡气浮底座(3221)、过渡立板(3222)、过渡气浮室(3223)、位于过渡气浮室(3223)下方的过渡气接头(3224)；垂直于物料运输方向的过渡段两端分别设置一个带滑槽的过渡气浮底座(3221)，过渡立板(3222)的底部位置可调的连接在所述过渡气浮底座(3221)上，过渡气浮室(3223)的底面两端可拆卸的连接至两个过渡立板(3222)的顶部，在过渡气浮室(3223)的顶板上开设过渡气浮孔，过渡气浮室(3223)提供可调的气浮力；

所述过渡段气浮组件(3220)还包括过渡气路转接板(3225)，所述过渡气路转接板(3225)设置在过渡立板(3222)顶部和过渡气浮室(3223)底面端部之间，所述过渡气接头(3224)通过所述过渡气路转接板(3225)连通至所述过渡气浮室(3223)，两端的过渡气接头(3224)可控的提供不同压力的压缩气体或负压，以调节整个过渡气浮室(3223)上表面的气浮力；

所述精密段气浮组件(3230)包括精密气浮底架(3231)、精密转接板(3232)、精密负压转接板(3233)、精密气浮室(3234)、精密气接头(3235)和精密负压接头(3236)；精密转接板(3232)设置在精密气浮底架(3231)顶部，所述精密负压转接板(3233)设置在精密转接板(3232)底部部分开设的凹腔中，精密气浮室(3234)可拆卸的设置在所述精密转接板(3232)顶部，在所述精密气浮室(3234)顶板上开设正压气孔(32341)和负压孔(32342)，所述精密气接头(3235)通过所述精密转接板(3232)将压缩气体通向正压气孔(32341)，所述精密负压接头(3236)通过所述精密负压转接板(3233)将负压连通至所述负压孔(32342)。

2.根据权利要求1所述的分段式气浮平台，其特征在于：在所述过渡气浮室(3223)的顶面上开设过渡气流导向槽(3226)，所述过渡气流导向槽(3226)与过渡气浮室(3223)顶面的过渡气孔中心线相交或相离设置。

3.据权利要求1所述的分段式气浮平台，其特征在于：所述精密段气浮组件(3230)整体垂直于物料传送方向设置，用作待测件的检测工位。

4.一种平台模组，其特征在于：所述平台模组(3000)包括移载装置(3100)和气浮平台(3200)，所述移载装置(3100)跨设在气浮平台(3200)上输送待测件或物料，所述气浮平台(3200)采用权利要求1或3所述的分段式气浮平台。

5.根据权利要求4所述的平台模组，其特征在于：所述平台模组(3000)包括两组对称设置的气浮平台(3200)，其中两个精密段气浮组件(3230)临近设置。

6.一种检测设备，其特征在于：检测设备包括减震台架(2000)、平台模组(3000)、和光学检测装置(4000)，其中所述平台模组(3000)和光学检测装置(4000)设置在所述减震台架(2000)上；根据权利要求4或5所述平台模组(3000)用于待测件的气浮承载及定位输送；所述光学检测装置(4000)设置在所述平台模组(3000)上方，用于待测件的检测；

所述光学检测装置(4000)包括定位相机、主检相机和复检相机，用于待测件的定位、初检和精检。