[发明专利]一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备

说明书

本发明公开了一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备，气浮平台包括气浮精度依次增高的搬运段气浮组件、过渡段气浮组件和精密段气浮组件构成的三段式结构，平台模组包括两组对置设置的气浮平台，其中两个精密段气浮组件临近设置。检测设备在精密段气浮组件处通过光学检测装置实现对待测件的检测定位、初检和精检。本发明采用分段式气浮平台，大幅降低了成本，整体结构简单，模块化的设计，便于装配和维修，能适应不同进出料流道的布局，从而提高了应用场景。

技术领域

本发明涉及检测设备及其零部件技术，具体涉及一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备。

背景技术

对于computer-计算机、通信-communication、消费类电子产品-consumerelectronics等3C产品的主板（如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷电路板，FPD、flat panel display-平板显示器）检测设备中，必不可少的用到对检测件的气浮承载机构，这类机构通常与移载装置联合使用，以对待测件进行气浮、吸附、抓取并输送。

然而，随着检测设备越来越高的精度和多功能集成的要求，检测设备对检测段的气浮机构精度要求越来越高，而气浮机构通常价格较高，如果整体采用同样高精度的气浮机构，则对整套设备的成本势必造成影响。因此，针对3C产品，尤其是其FPD（Flat PanelDisplay，平板显示器）的检测用气浮机构，亟需一种适应高精度检测段且成本低的气浮机构和检测设备。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种分段式气浮平台、平台模组和检测设备，其能解决上述问题。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

一种分段式气浮平台，所述气浮平台包括从前往后依次设置的搬运段气浮组件、过渡段气浮组件和精密段气浮组件三段，其中，三段气浮组件的安装平面度|▱|关系为|▱_搬运|≥|▱_过渡|＞|▱_精密|；三段气浮组件的上浮高度H_f为：H_f搬运=150μm~250μm，H_f过渡=100μm~200μm，H_f精密=30μm~70μm；三段气浮组件的上浮平面度绝对值|▱_f|关系为|▱_f搬运|＞|▱_f过渡|＞|▱_f精密|。

优选的，所述搬运段气浮组件包括搬运气浮底座、搬运立板、搬运气浮室以及位于搬运气浮室底面的搬运气接头；垂直于物料运输方向的搬运段两端分别设置一个带滑槽的搬运气浮底座，搬运立板的底部位置可调的连接在所述搬运气浮底座上，搬运气浮室的底面两端可拆卸的连接至两个搬运立板的顶部，在搬运气浮室的顶板上开设搬运气浮孔。

优选的，所述过渡段气浮组件包括过渡气浮底座、过渡立板、过渡气浮室、位于过渡气浮室下方的过渡气接头；垂直于物料运输方向的过渡段两端分别设置一个带滑槽的过渡气浮底座，过渡立板的底部位置可调的连接在所述过渡气浮底座上，过渡气浮室的底面两端可拆卸的连接至两个过渡立板的顶部，在过渡气浮室的顶板上开设过渡气浮孔，过渡气浮室提供可调的气浮力。

优选的，所述过渡段气浮组件还包括过渡气路转接板，所述过渡气路转接板设置在过渡立板顶部和过渡气浮室底面端部之间，所述过渡气接头通过所述过渡气路转接板连通至所述过渡气浮室，两端的过渡气接头可控的提供不同压力的压缩气体或负压，以调节整个过渡气浮室上表面的气浮力。

优选的，在所述过渡气浮室的顶面上开设过渡气流导向槽，所述过渡气流导向槽与过渡气浮室顶面的过渡气孔中心线相交或相离设置。